Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON K150 #293624501 à vendre en France

ID: 293624501
Spin Rinse Dryer (SRD).
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON K150 Photoresist Equipment est un dispositif automatisé conçu pour des procédés de photolithographie de haute précision dans la production de semi-conducteurs. Il est utilisé pour modeler physiquement différentes couches de substrats minces dans des détails ultrafins, avec une grande variété de matériaux tels que le quartz, le silicium et le polyimide. Le système utilise 4 étages optiques, un étage de balayage de précision et une unité laser de grande puissance pour tracer avec précision et précision une caractéristique exacte. Le premier étage optique est équipé d'un microscope Canon 20x et d'une photocopieuse à 5 caméras pour une surveillance et des mesures précises. Cette étape permet également de vérifier l'alignement de tous les composants d'imagerie. Le deuxième étage optique, monté sur un bras robotique, contient une lentille de zoom ainsi qu'un rétroviseur pour assurer une imagerie précise. Un objectif de grande focale est monté sur le troisième étage optique, offrant une vue agrandie du substrat et permettant d'enregistrer même les plus petits détails. Enfin, le quatrième étage optique abrite une source de lumière UV de forte puissance, une plaque de base coulée pour supporter le substrat, et une variété de positionneurs et d'actionneurs pour diriger précisément le faisceau laser. L'outil de contrôle de FSI K150 Photoresist Asset est responsable du processus d'imagerie automatisée et comprend un sous-modèle multimédia intégré et des capteurs avancés pour l'inspection et la mesure avancées. L'équipement est également capable de travailler avec une variété de protocoles de communication, permettant une intégration facile avec des équipements externes. Une interface graphique conviviale permet à l'utilisateur de configurer le système, de définir les paramètres et les spécifications et de surveiller les performances de l'unité. TEL K150 Photoresist Machine comprend également une routine d'autodiagnostic qui peut détecter et signaler tout dysfonctionnement, permettant une action corrective immédiate si nécessaire. L'outil est capable de modeler des caractéristiques allant de 0,1 à 1 micron en taille, avec une précision de +/- 5 nm et une résolution de 1-10 nm. Ses composants et mécanismes de haute qualité assurent une durabilité à long terme et un fonctionnement cohérent. K150 Les outils d'imagerie de haute qualité de Photoresist Asset, les processus précis et contrôlés et l'automatisation supérieure en font une solution idéale pour les travaux de photorésistance avancés et exigeants.
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