Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #293595917 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP est un équipement de photorésistance conçu pour la production de motifs de haute précision sur des substrats semi-conducteurs, microélectroniques et autres. Le MP est une solution monoplace, à haut débit et entièrement automatisée qui permet la production de motifs photorésistants en ligne fine et 3D avec une répétabilité et une précision inégalées. Le système est composé d'une chambre de serrure à vide, d'une unité d'alignement programmable et d'un mécanisme programmable de revêtement de spin. La machine dispose d'un outil d'imagerie numérique pour les enregistrements de haute précision et d'une source lumineuse à LED pour l'exposition. La chambre de serrure à vide assure un environnement actif propre et permet un échange d'outillage sans nécessiter de pression atmosphérique. Le modèle d'alignement programmable permet de placer et d'aligner automatiquement les substrats dans la chambre de procédé. Le mécanisme d'enrobage est conçu pour appliquer des films photorésistants d'épaisseur constante et homogènes du centre au bord du substrat. L'équipement d'imagerie numérique dispose d'un enregistrement de haute précision pour mesurer, aligner et positionner automatiquement les substrats et les résistances. Il permet une précision d'enregistrement inférieure à 0,5um. La source lumineuse LED sépare le rétroéclairage et la lumière noire avec différents angles et temps d'exposition, donnant plus de souplesse au temps d'exposition et permet une exposition répétée avec plus de précision et de précision. Le MP est suffisamment souple pour accueillir une variété de matériaux photorésistants et est conçu pour positionner des substrats d'épaisseurs différentes. Le système est conçu pour réduire la poussière, les contaminants et les particules par zone donnée, et peut être utilisé dans un ensemble de processus de photorésistance tels que les processus négatifs et additifs. En résumé, FSI Mercury MP est une unité de photorésistance polyvalente qui fournit une production fiable avec des niveaux élevés de répétabilité, de précision et de précision. C'est une solution à plate-forme unique avec des capacités à haut débit qui offre une polyvalence et une flexibilité maximales.