Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281725 à vendre en France

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ID: 9281725
Spray cleaning systems PFA Turntable, 8" (2) Booster pumps Dual exhaust rinse box IR Chemical heater (5) Chemical tanks (2) Chemical consoles Chemicals used: HF, H2O2, HCl, HNO3, H2SO4 Helios DI-heater: 52kW.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP est un équipement de photorésistance doté d'une conception avancée qui offre des améliorations significatives dans la résolution, la vitesse et les performances des procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le système est équipé d'une unité de balayage avancée pour permettre l'imagerie directe de photorésist sur des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre. Il intègre également un bras robot de haute précision pour le positionnement précis et le retrait de la résine photosensible sur le substrat. La machine est équipée d'un étage motorisé et d'un outil d'isolation des vibrations pour un positionnement et un contrôle précis de la plaquette. L'atout est conçu pour fournir des résultats précis grâce à un contrôle serré des processus et un positionnement précis des substrats. Il utilise un modèle d'optique numérique haute résolution pour l'équipement d'imagerie et d'éclairage qui permet l'imagerie précise des photorésistes. Ce système d'optique numérique fournit également des expositions précises et répétables pour des processus de fabrication précis. L'unité utilise une machine de chargement automatique pour assurer un chargement continu et précis de la résine photosensible sur le substrat. L'outil intègre également une lampe et une tête uniques qui produisent un motif homogène sur le substrat et assure une application photorésist précise. L'exposition précise, répétable et le processus précis de chargement de la résine photosensible permettent des caractéristiques rapides et précises sur différentes plaquettes. L'actif dispose également de dispositifs de sécurité avancés, tels que des systèmes d'isolement et des absorbeurs de rayonnement, qui assurent un processus de lithographie sûr et sécurisé. Le modèle est alimenté par un puissant équipement d'entraînement dédié qui assure un contrôle précis de la position et de la vitesse pendant le processus de fabrication. Il est équipé d'une gamme d'outils de contrôle et de diagnostic qui permettent le traitement précis et répétable des photorésistances. Le système est équipé de différents systèmes de contrôle des paramètres et de l'intégration des données, ce qui permet un contrôle précis et répétable du processus. Dans l'ensemble, FSI Mercury MP photoresist unit est une machine puissante et fiable qui offre une productivité, une précision et un contrôle de processus améliorés. Cet outil offre des performances supérieures et est un excellent choix pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est équipé d'une gamme de caractéristiques et de caractéristiques de sécurité pour assurer un processus de fabrication sûr et précis.
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