Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP #9281852 à vendre en France

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury MP
Vendu
ID: 9281852
Spray cleaning system.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP Photoresist Equipment est un appareil à masque polyvalent et performant conçu pour répondre aux exigences de photolithographie les plus élevées. FSI Mercury MP intègre un large éventail de caractéristiques, y compris un mécanisme de manutention des matériaux sous forme de bandes, une plate-forme pour supporter deux substrats, la focalisation automatique et le contrôle d'épaisseur, une source de lumière sèche économe en énergie, un balayage de haute précision et des fonctions de post-traitement automatique. TEL Mercury MP est équipé d'un « capteur de protrusion haute précision » original qui permet une grande précision et une mesure rapide. La source lumineuse utilisée est un laser He-Cd d'une longueur d'onde de 436 nm. La source de lumière sèche permet une puissance élevée et une faible consommation d'énergie, et permet un alignement rapide et précis pour les processus de photolithographie. TOKYO ELECTRON Mercury MP supporte également le processus de photolithographie en une ou deux étapes avec la manipulation du matériau sous forme de bande. Mercure MP comprend une plate-forme qui peut supporter deux substrats, permettant l'alignement simultané et la mesure de l'épaisseur à travers. Le scanner utilisé est un servomoteur linéaire à haute précision qui permet une résolution répétable à 0,5 µm. Sa précision de balayage de surface est également de 0,1 µm, et l'alignement de précision pour la forme des points est également de 0,2 µm. FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury MP dispose également d'un traitement automatisé comme la coloration des bords, le balayage et l'ajustement de la concentration. Le cadre de l'alignement de masque est conçu pour assurer un fonctionnement facile, et le cadre de base est conçu pour éviter les vibrations. En outre, FSI Mercury MP prend en charge l'intégration d'autres sous-systèmes, ce qui permet d'être utilisé dans des applications de photolithographie entièrement automatisées. TEL Mercury MP est un système convivial et avancé qui répond à un large éventail d'applications. Il est optimisé pour une utilisation dans diverses industries telles que l'affichage de panneaux plats, la cellule solaire, MEMS, et la fonderie IC. Cette unité est spécialement conçue pour une productivité élevée et des performances constantes. La machine est équipée d'une interface utilisateur pratique, de puissantes fonctions de mesure intégrées et de fonctions de traitement de données supplémentaires pour améliorer l'expérience utilisateur. En outre, TOKYO ELECTRON Mercury MP est conçu pour respecter la réglementation environnementale et pour minimiser la photocontamination et la production statique d'électricité. Cet outil fournit des mesures fiables et un alignement rapide et précis, ce qui en fait un atout idéal pour la photolithographie.
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