Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9093020 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury est un équipement de photorésistance conçu pour fabriquer des composants de circuits intégrés sur des plaquettes semi-conductrices. Le système se compose de trois parties : une unité d'éclairage, une machine de développement et un outil de photorésistance. L'actif d'éclairage utilise une source lumineuse laser excimère pour exposer le motif du circuit sur la plaquette. Ce motif est ensuite transféré sur la résine photosensible, matériau sensibilisable à la lumière, en contrôlant les paramètres d'exposition tels que la longueur d'onde, la largeur d'impulsion, le motif de gravure et la dose d'exposition. Le modèle de développement utilise un équipement de piste pour fournir une solution rentable pour créer des modèles de circuits haute résolution. Le système photorésist comprend des solutions pour développer le circuit exposé et contrôler le processus de gravure. Ceci est fait en utilisant diverses solutions telles que les procédés spin-coat et spray-coat. Le spin-coat utilise un substrat tournant pour déposer une couche régulière de la résine photosensible à la surface de la plaquette, tandis que le spray-coat utilise la réaction d'une solution organique sur la plaquette pour développer la couche de résine photosensible. Cette unité de photorésistance utilise des solvants pour contrôler le processus de gravure et obtenir le motif de circuit désiré. Parmi les solvants couramment utilisés figurent le diméthylsulfoxyde (DMSO) et le terpinéol-I-ol (T-I-O). Ces solvants sont responsables de la dégradation des liaisons chimiques à la surface de la plaquette et aident ainsi la couche de résine photosensible à adhérer au motif. Enfin, le FSI Mercury utilise sa technologie Spacer pour former des couches d'isolement qui sont des pores minces de remplissage d'entrefer utilisés pour définir la frontière des circuits de transistor. La couche d'espaceur contribue à augmenter le rendement et les performances des transistors en fournissant un environnement électriquement isolé. En conclusion, TEL Mercury est une machine photorésistante qui offre une solution efficace et fiable pour la fabrication de circuits intégrés sur plaquettes. Il utilise la source lumineuse, l'outil de développement et l'actif photorésist ainsi que divers solvants pour former un modèle complet de fabrication de photorésist.