Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9116685 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury est un équipement de photorésistance de pointe développé par FSI Corporation. Il est conçu pour gérer la fabrication de grands circuits intégrés très complexes avec la plus grande vitesse et précision. Le système combine des procédés avancés de lithographie, de dépôt, de gravure et de métrologie, associés à un large éventail de substrats et de matériaux de revêtement. Cela en fait un outil idéal pour la production de semi-conducteurs haute densité utilisés dans les dispositifs les plus avancés technologiquement d'aujourd'hui. FSI Mercury combine une plate-forme d'outils flexible qui s'adapte à la modification de la conception des circuits, assure l'évolutivité et la prévisibilité des performances. Il dispose d'une unité de lithographie évoluée et multifonctionnelle qui traite précisément les motifs à partir du moment où les images sont introduites dans la machine. L'outil est conçu pour produire des caractéristiques de 0,25 micron ou moins avec une précision de +/- 3nm. Cette précision accrue permet la production de caractéristiques plus lisses et plus petites. La partie dépôt du procédé TEL Mercury fournit un large éventail de matériaux, y compris des métaux comme l'aluminium, le cuivre, le cobalt, le titane et le carbone diamant (DLC). Il comprend également des systèmes de dépôt conformes qui permettent le dépôt de couches minces très uniformes et conformes sans corrections d'uniformité requises. Ceci fournit un niveau de précision plus élevé lors de la création de structures 3D. Le procédé de gravure utilise des technologies à plasma à couplage inductif (PIC) pour créer une sélectivité et une conformité élevées. Cela permet la production d'un large éventail de caractéristiques et de structures avec une distorsion minimale. Il prend également en charge les technologies de synchronisation avancées qui assurent un contrôle étroit du processus, permettant une production fiable. Enfin, le procédé de métrologie de Mercury permet de mesurer avec précision les pièces et les films. Il comprend un microscope électronique à balayage à haute résolution (SEM), un microscope optique à balayage en champ proche (NSOM), un microscope à force atomique (AFM) et divers autres outils. Tous ces éléments sont conçus pour fournir une rétroaction précise sur les caractéristiques et les performances des appareils. En conclusion, TOKYO ELECTRON Mercury est un actif photorésistant avancé qui offre une haute performance, évolutivité et prévisibilité. Il combine un large éventail de procédés avancés de lithographie, de dépôt, de gravure et de métrologie, ainsi qu'un haut degré de programmabilité, pour fournir aux ingénieurs un outil puissant pour produire des circuits intégrés complexes.