Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120351 à vendre en France

FSI MERCURY est un équipement de photorésistance conçu pour la lithographie efficace de composants hautement miniaturisés. Le système est basé sur la technologie avancée de lithographie numérique DUV et se compose d'une unité d'éclairage laser excimère, d'une machine d'imagerie optique complète, d'un enrouleur de spin et d'un sèche-linge. L'outil d'éclairage laser excimère produit un motif d'exposition à courte longueur d'onde qui est utilisé pour créer des motifs précis et cohérents sur des substrats recouverts de photorésist. Cet atout peut produire des motifs avec une résolution de sous-microns qui peuvent être utilisés pour des composants 3D très complexes. L'équipement d'imagerie optique complet du modèle MERCURY fournit un éclairage uniforme et précis de la plaquette photorésistante avec plus de puissance et de résolution que les systèmes traditionnels d'exposition à la lumière. Le spin-coater intégré et le spin-dryer offrent des procédés de spin-coat et de séchage uniformes qui permettent une production avec une épaisseur de film optimale et une homogénéité de surface précise. Cette combinaison de composants de haute technologie permet à FSI MERCURY de créer des modèles avec un plus grand nombre de fidélité de motifs et un niveau de performance plus élevé. Le système photorésist de MERCURE est capable de produire des caractéristiques de haute précision avec un taux de défaut acceptable, même sur les couches minces. Sa conception permet d'utiliser un large éventail de matériaux, parmi lesquels des métaux, des polymères, des plastiques et du verre. Un large éventail d'applications de lithographie peuvent être supportées avec l'appareil, du contact jusqu'aux trous en passant par les motifs 3D. La machine est facile à utiliser et offre d'excellentes capacités d'analyse des défauts. Le contrôle des processus sub-microns est rendu possible grâce à l'utilisation d'un masquage précis et d'un balayage automatisé de l'exposition. Un contrôle précis de la rétroaction avec une exposition automatique à plusieurs couches et une large gamme d'options de fixation et d'optimisation améliorent encore la précision et l'efficacité. De tels systèmes photorésistants très sensibles offrent une excellente résolution, uniformité et réduction des défauts pour des technologies plus difficiles telles que les caméras de téléphonie mobile, les composants optiques et les circuits intégrés. L'outil photorésist de précision FSI MERCURY est une excellente solution pour la lithographie de composants 3D avec une grande précision et répétabilité.