Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9120352 à vendre en France

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ID: 9120352
Taille de la plaquette: 8"
PFA Turntable, 8".
FSI MERCURY est un équipement photorésist exclusif spécialement conçu pour les applications macroélectroniques et semi-conductrices. Il s'agit d'un film ultra-mince de polymère résistant, capable de libérer ou de piéger l'énergie nécessaire au transfert des motifs désirés vers des substrats physiques. Le système est constitué d'un matériau photorésistant liquide de base combiné à un développeur et à un rayonnement, qui permet de transférer une image d'un circuit ou d'un composant en fabrication de circuit. Cette unité photorésist est disponible dans différentes formules adaptées à une utilisation sur une grande variété de matériaux de substrat tels que l'aluminium, le cuivre, le verre, le silicium, les semi-conducteurs, l'arséniure de gallium et le quartz. Lorsqu'il est exposé au rayonnement ultraviolet (UV), MERCURE résiste à la décomposition du polymère, créant ainsi une image de gravure. Le matériau présente également une résistance latérale élevée, ce qui évite la sous-cotation ou le retard. FSI MERCURY utilise plusieurs couches de composants spécialisés qui lui donnent des performances supérieures à d'autres photorésistes. La machine commence par le matériau de résistance polymérisé, également appelé film. Le film est appliqué sur des substrats par un procédé de spin-coating et durci par une exposition aux UV afin d'améliorer la qualité du film. En outre, un rayonnement supplémentaire est utilisé pour exposer le motif désiré sur la plaquette pré-enduite. Une fois la résine exposée, un cendrier en ligne peut être utilisé pour récupérer le film de résistance non exposé, par un procédé de durcissement à base de fluor, qui forme une liaison permanente. Ceci permet une gravure photolithographique aisée. En ce qui concerne l'étape post-développement, il est essentiel que la matière exposée soit nettoyée, laissant derrière elle une image à haute résolution. L'outil de photorésistance MERCURY comprend également un développeur de haute qualité qui aide à fournir les meilleures solutions pour maintenir la résolution et la qualité lors du levage des masques de contact. Cela garantit que le substrat sous-jacent n'est pas endommagé par le procédé de gravure. En résumé, FSI MERCURY est un actif de résistance en couches minces qui utilise plusieurs composants et processus pour transférer une image sur un substrat. Avec ses technologies de pointe et ses nombreux avantages tels que la flexibilité, le rapport coût-efficacité et une résolution supérieure, MERCURY fournit une solution optimale pour les applications macroélectroniques et semi-conductrices.
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