Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9137915 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Le mercure est un équipement de photorésistance utilisé dans le processus de photolithographie pour la production de puces semi-conductrices. Il utilise des résistances aux ultraviolets profonds (DUV), qui sont conçues pour être utilisées avec des marches photolithographiques. Ce système est composé d'une unité de traitement en boucle fermée avec un automate, un réservoir transparent et un spin-coater de précision. Le contrôleur d'outils est conçu pour répondre aux besoins d'une gamme de tailles de plaquettes et de volumes de production et est capable de contrôler avec précision et précision le spin-coater. Le contrôleur est relié à une base de données de processus intégrée qui peut optimiser les variables de processus pour chaque application. En outre, l'actif a une grande répétabilité des résultats avec une précision de nivellement exceptionnelle et une uniformité sur chaque plaquette, ce qui garantit le rendement et la cohérence de la qualité. Le réservoir du modèle est un réservoir de silicone transparent à basse pression avec un volume de transfert conçu avec précision et adapté à l'application automatisée du film. Il est facile à entretenir et permet son utilisation pour différents types de films, tels que la résine de dilution et l'utilisation de solvants organiques. Le spin-coater est un dispositif de haute précision pour filer des films minces et contient un gâteau en silicone qui permet des films d'épaisseur égale à l'aide de filage horizontal sur la plaquette. De plus, le contrôleur est relié au spin-coater, ce qui permet de régler avec précision des paramètres tels que la vitesse, la pression et le temps pour chaque application. L'ensemble de l'équipement est conçu pour fournir une imagerie ultraviolette (UV) pour le tissage de divers films minces, résines, diélectriques et métaux. Il offre des performances supérieures pour les diélectriques monocouches et doubles couches, ce qui permet également une double gravure et une sélection précise des gravures. Ce système comprend également différents types de technologies de revêtement, telles que le spray et le spin-coating, qui conviennent à tous les types de substrats. Cela permet à l'unité d'être utilisée pour une variété de procédés, de la production à grande échelle aux applications de recherche et d'essai. FSI Mercury est une machine de photorésistance automatisée très avancée qui offre des performances améliorées par rapport aux systèmes de photolithographie traditionnels. Il est conçu pour une flexibilité maximale et permet aux utilisateurs de réaliser des processus de balisage complexes sur un seul équipement.