Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9157620 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Mercury est un équipement de photorésistance polyvalent et de haute précision conçu pour des applications de lithographie à haut volume. C'est un système tout-en-un combinant des technologies avancées de lithographie et de traitement, y compris la lithographie stéréoscopique, la réduction de diffusion, le contrôle CD et la gravure. L'unité FSI Mercury offre une haute résolution et stabilité pour des processus précis et de haute qualité. La machine dispose d'un outil de balayage propriétaire et de capacités d'exposition à haute résolution qui permettent des expositions précises et rapides. Il dispose également du logiciel TurboCAM (Turbine Computer-Aided Manufacturing), qui permet de créer rapidement des motifs de lithographie couche par couche. TEL Mercury offre également des capacités avancées de traitement post-exposition. Cela comprend un actif de séchage à plusieurs étapes, qui prévient les contaminants et les défauts dérivés des contaminants. Il dispose également d'une filière haute performance pour optimiser des paramètres tels que la vitesse de rotation et la direction de rotation pour obtenir une plus grande couverture de mouillage et une excellente épaisseur de film homogène. Ce large éventail de choix de traitement augmente considérablement la productivité tout en fournissant des résultats cohérents. Mercure offre également des performances d'outils supérieures. Il dispose d'un modèle d'autofocus de haute précision, qui compense automatiquement les modifications topographiques, telles que les changements de forme des plaquettes, de courbure de surface et de hauteur. Cela garantit la meilleure précision d'image possible et la stabilité dans le temps. L'équipement offre également des capacités avancées de contrôle des processus, comme le contrôle des doses d'exposition avec une grande précision et un système de surveillance de l'uniformité des CD pour identifier même des non-uniformités mineures. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Mercury photoresist unit est un excellent choix pour les applications de lithographie à haut volume nécessitant une grande précision et stabilité. Il offre des performances d'outils supérieures, des capacités de traitement post-exposition avancées et un excellent contrôle des doses d'exposition et de l'uniformité du CD. Son large éventail d'options de traitement permet une plus grande productivité et des résultats cohérents.