Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9199857 à vendre en France

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ID: 9199857
Wet processor, 4" (5) Chemicals: Ammonia Hydrofluoric acid Hydrochloric acid Hydrogen peroxide Sulfuric acid.
FSI MERCURY est un équipement de photorésistance conçu pour la production de masques lithographiques à grande échelle pour la fabrication de circuits intégrés (IC). Le système permet de compléter le processus photolithographique avec une grande précision et de manière rentable. Cette unité photorésist est conçue avec la technologie de projection micromirior pour assurer un degré important de flexibilité de ligne et de contrôle du jeu. La machine d'écriture de masque programmable produit 150nm de taille, et peut stocker jusqu'à 8K designs. La précision des dimensions des couches de film est de +/- 7,5 nm, de +/- 0,5 % maximum pour les dispositifs de 50 mm et de +/- 0,2 % maximum pour les dispositifs de 200 mm de diamètre. C'est un outil entièrement automatique qui peut convertir un design en plusieurs masques différents rapidement et facilement. L'actif MERCURE fiable permet un contrôle et une précision précis lors de la production de masques lithographiques pour les plus gros IC. Il consiste en un modèle de photomasque qui utilise des diodes électroluminescentes (LED) pour contrôler la quantité d'exposition pendant le processus de photolithographie. L'équipement utilise une combinaison d'un réseau optique de transmission et d'un revêtement très réfléchissant pour s'assurer que le masque est caractérisé et adapté exactement au substrat, ainsi qu'aux spécifications de conception. Le système FSI MERCURY utilise également une unité d'écriture de faisceau contrôlée par ordinateur pour s'assurer que les bords et les formes sont définis avec précision. La machine a également une caractéristique d'auto-accord unique qui facilite l'alignement précis de la conception du masque avec les caractéristiques prévues de la couche de substrat. Enfin, l'outil MERCURY dispose d'options de QC intégrées qui permettent aux utilisateurs de déterminer rapidement et efficacement l'intégrité des masques finis. Cela permet de s'assurer que seuls les masques de haute qualité sont produits pour la fabrication de circuits intégrés. Avec sa grande précision, fiabilité et rentabilité, FSI MERCURY est un outil essentiel pour la production de circuits intégrés.
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