Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9221786 à vendre en France

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury
Vendu
ID: 9221786
Spray cleaning system.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Le mercure est un équipement de photorésistance pour les processus de gravure soustractive. Ce système utilise une série de composants optiques pour créer des motifs de masques uniformes et précis à la surface d'un substrat. La photorésist est un film photosensible qui peut être appliqué sur le substrat et exposé à une source lumineuse intense. La source de lumière peut être soit UV, soit visible, selon le type de matériau photorésistant utilisé. Le matériau photorésist exposé est ensuite mis au point, soit avec un révélateur chimique, soit avec un révélateur de plaque chaude. Le motif de résistance développé est ensuite transféré au substrat sous-jacent lors de la gravure. FSI Mercury est capable de produire des motifs tridimensionnels précis dans une grande variété de matériaux tels que le silicium, le quartz et les métaux. L'unité utilise un pas sans masque pour positionner avec précision le masque sur le substrat. La précision de ce positionnement permet de créer des motifs de résolution extrêmement fins. De plus, la précision du pas assure que le motif de résistance produit sera cohérent et répétable. La machine utilise également un certain nombre d'optiques d'imagerie dont des lasers améroïdes, de projection et de diode pour assurer une imagerie optique précise du substrat. Ceci permet une très haute résolution des motifs de surface des plaquettes réalisées. De plus, la cartographie intégrée de l'éclairage global garantit que toutes les surfaces de la plaquette sont exposées uniformément et uniformément. TEL Mercury dispose également d'une variété de contrôles de processus incluant la température, la pression et des solutions chimiques pour permettre un grand nombre de processus de développement et de gravure résistants. Cette gamme de contrôles de processus permet à l'utilisateur de configurer facilement son processus de gravure pour des matériaux tels que le métal, le quartz, le silicium polycristallin et les CI. Mercure dispose en outre d'une gamme d'outils logiciels conçus pour simplifier le processus de gravure. Ces outils offrent une surveillance et un contrôle numériques des paramètres d'imagerie et de gravure, ce qui permet de s'assurer que le motif optimal est produit. En outre, l'outil comprend des fonctionnalités telles que le développement automatique de résistance et la capacité de sauvegarder et de stocker des recettes de conception pour les besoins spécifiques des utilisateurs. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Mercury est un actif photorésistant conçu pour produire des motifs de résistance de précision pour divers processus de gravure. Il comprend diverses optiques d'imagerie et des contrôles de processus pour aider les utilisateurs à configurer le modèle pour des résultats optimaux. En outre, une gamme d'outils logiciels est offerte pour simplifier le processus de gravure et s'assurer que les modèles de résistance sont cohérents et reproductibles.
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