Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Mercury #9278150 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Le mercure est un équipement photorésistant de premier plan utilisé dans la fabrication de circuits intégrés (IC). Il utilise la technologie avancée de lithographie des faisceaux d'électrons pour créer des caractéristiques sub- 20 nanomètres dans les couches de photorésist pour une large gamme d'applications électroniques. Le système utilise un scanner à couplage optique intégré et une source à faisceau unique fonctionnant à la fréquence de balayage KHz pour fournir des performances de lithographie haute définition, répétables et fiables. L'unité est basée sur e-beam et résiste aux technologies développées par FSI, ce qui la rend hautement fiable et avancée. La conception avancée de la machine est basée sur une architecture robuste avec un contrôle d'outil simplifié. Le processus de lithographie se concentre autour d'une source fonctionnelle et d'un atout d'image. Le modèle source est équipé d'une génération précise de faisceaux électroniques, d'un contrôle de l'intensité et de la dose ainsi que de fonctions d'alignement mécaniques et programmées pour fournir une lithographie parfaite aux pixels. De plus, l'équipement peut effectuer un alignement de bord de masque de haute précision, un centrage de faisceau et une mise en forme de faisceau sans intervention manuelle. Le système FSI Mercury est équipé de paramètres de processus automatisés et programmables permettant une cohérence et des résultats reproductibles sur plusieurs plaquettes et lots. L'architecture robuste de l'unité est renforcée par l'utilisation de périphériques de contrôle de la qualité (QC) pour surveiller la stabilité du processus comme le réglage de la focale, le courant de faisceau, la profondeur de gravure, et plus encore. En outre, la machine utilise une variété de modules de processus standard et des outils de lithographie haut de gamme pour obtenir une plus grande personnalisation pour des structures de puces complexes. En outre, l'outil est capable de répondre à des exigences de précision rigoureuses avec une précision supérieure à 1nm pour les tailles de caractéristiques critiques. Il intègre un scanner atmosphérique qui peut générer et aligner un angle d'inclinaison de 0,05 degré pour des profils de lumière uniformément répartis et des images de haute qualité. L'actif peut également profiter des régulateurs intégrés de température et d'humidité pour améliorer la stabilité et réduire les erreurs de recouvrement au fil du temps. Le modèle TEL Mercury est également conforme aux normes de l'industrie et est soutenu par un large éventail de modules de processus allant de la production monocouche à la métallisation à plusieurs niveaux. De plus, l'équipement peut s'intégrer à une gamme de solutions d'automatisation et intégrer des dispositifs de suivi et de traçabilité des processus en ligne tels que des systèmes d'inspection des défauts par caméra, des systèmes d'examen et des systèmes automatisés de chargement et de déchargement des produits. TOKYO ELECTRON Le système Mercury est un choix idéal pour une fabrication en IC haute précision et haute résolution qui nécessite des tailles de caractéristiques stables, précises et reproductibles. Grâce à ses fonctionnalités avancées, il est adopté par plusieurs fabricants d'appareils et institutions de recherche à travers le monde.