Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9298710 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion est un équipement de photorésistance utilisé pour le développement et l'imagerie de motifs de photorésist sur des plaquettes semi-conductrices. Il s'agit d'un outil/système entièrement automatisé qui permet de réaliser des analyses précises et résiste au développement de plaquettes et de substrats dans l'industrie de la microélectronique. L'unité de photorésistance FSI Orion se compose d'une station d'imagerie, d'une station de rotation, d'une station de plaque chaude et d'un robot automatisé pour la manipulation et le déplacement des pièces. La station d'imagerie se compose d'un aligneur automatique laser, d'un aligneur de masque, d'une lampe UV, d'un stepper et d'une fenêtre d'image. L'alignement automatique laser est utilisé pour aligner avec précision le masque sur la plaquette. Le masque aligner est utilisé pour l'image du masque sur la plaquette tandis que la lampe UV est utilisé pour fournir l'exposition pour l'imagerie. Le stepper et la fenêtre d'image sont utilisés pour surveiller le balisage de la plaquette. La station de spin est utilisée pour transférer la résine photosensible de la plaquette vers le substrat ainsi que pour développer les motifs sur la plaquette. Le tournage est activé par une machine motorisée qui peut faire tourner la plaquette de zéro à cinquante mille tr/min. La station de plaque chaude est utilisée pour cuire une couche de matériau photosensible sur la plaquette à motifs. Le robot est utilisé pour déplacer les pièces entre les différentes stations. Il a cinq axes de mouvement et est capable de programmer et de mémoriser le chemin de mouvement pour des mouvements de pièces répétitifs. Dans l'ensemble, TEL Orion photoresist outil est un outil fiable et précis qui peut gérer la haute précision et résiste au développement nécessaire pour l'industrie de la microélectronique. Il se compose de divers composants tels qu'une station d'imagerie, une station de rotation, une station de plaque chaude et un robot, qui travaillent tous ensemble pour assurer une imagerie et une fixation précises sur la plaquette.