Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384186 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion est un équipement photorésistant de nouvelle génération pour la lithographie à semi-conducteurs. Il est conçu pour répondre aux dernières avancées technologiques telles que la lithographie ultraviolette extrême (EUV), la lithographie UV profond (DUV) et la lithographie optique étendue. Le système FSI Orion présente les dernières avancées en matière d'écriture de motifs, de gestion des plaquettes, d'exposition et de post-traitement. L'unité est conçue pour fournir une résolution et un débit de pointe dans l'industrie, tout en répondant aux exigences les plus élevées en matière de précision et de précision. La machine TEL Orion comprend un outil d'écriture et d'alignement de masque multi-axes, ainsi qu'un actif chargeur/déchargeur de plaquettes et une plate-forme pas à pas/scanner. Le modèle d'écriture de masque est constitué d'un équipement d'imagerie à longueurs d'onde multiples et haute résolution, d'une plaque de substrat à couches multiples et d'un système d'alignement de masque capable de s'aligner au niveau d'un sous-nanomètre. L'unité chargeur/déchargeur de plaquettes permet de charger et décharger rapidement et avec précision les substrats et les plaques. La plate-forme stepper/scanner est capable d'imiter des motifs ultra-fins avec une grande précision dans une grande variété de technologies de lithographie. TOKYO ELECTRON Orion dispose également de capacités de métrologie intégrées qui permettent la surveillance et le contrôle des processus en ligne. L'outil comprend un atout de métrologie à double longueur d'onde qui permet de détecter les caractéristiques des sous-nanomètres dans la plaquette. La métrologie à double longueur d'onde peut également analyser les résidus de niveau de la plaquette, ce qui permet un contrôle plus strict des processus. Le modèle comprend également une bibliothèque intégrée de recettes de processus et un contrôle avancé des processus en ligne afin d'assurer une performance uniforme des processus. L'équipement Orion est conçu pour offrir des performances de lithographie supérieures avec un coût qui est compétitif avec d'autres systèmes de lithographie haut de gamme. Le système est conçu avec une évolutivité qui permet une expansion modulaire au besoin, permettant des mises à niveau faciles à mettre en œuvre au fur et à mesure de l'introduction de nouvelles technologies ou de nouveaux processus. L'appareil est très flexible et peut être facilement configuré pour accueillir différentes solutions de lithographie. En outre, la machine dispose de nombreuses capacités de prise en charge à distance qui permettent de visualiser à distance les performances et les mises à niveau de l'outil. Cela permet un niveau plus élevé de service à la clientèle et de soutien. Dans l'ensemble, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion est un actif photorésistant de premier plan conçu pour tenir compte des progrès technologiques et fournir une résolution et un débit de pointe dans l'industrie. La flexibilité, l'évolutivité et le support à distance du modèle sont des caractéristiques clés qui en font un choix compétitif pour la lithographie semi-conductrice.