Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9384197 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion est un équipement de photorésistance utilisé dans la production de composants semi-conducteurs. Les systèmes photorésistants permettent le conditionnement précis des matériaux utilisés pour créer des composants à l'échelle nanométrique. Le système FSI Orion est une unité photorésistante ashing, stripping et développant qui est capable d'imagerie de champ sombre, réfléchissante et transmissive. Il offre une précision et un contrôle accrus grâce à une combinaison de procédés de gravure ionique réactive sous vide (VRIE) et de dépôts non réfléchissants (NRD). Cette machine est conçue pour maximiser l'efficacité du processus avec des temps de cendres rapides et un fonctionnement de séquence entièrement automatisé. TEL Orion peut traiter une variété de matériaux photorésistants, dont le polyimide, le silsesquioxane d'hydrogène, le photpolymère, le benzocyclobutène et les photorésistes négatifs et positifs. Il est également capable d'exécuter de multiples opérations de processus simultanées, telles que le nettoyage de substrat, la gravure, la gravure, le dénudage, la résistance à la cuisson et le recuit de température. L'outil est équipé d'une source radiofréquence de 1,3 Gigawatt, avec des vitesses de gravure uniformes sur n'importe quel substrat. L'amélioration de la précision de la température, l'optimisation des conditions plasmatiques et l'utilisation du mélange des gaz donnent aux utilisateurs finaux une meilleure précision du procédé. En outre, l'actif offre fiabilité et intégrité de l'appareil sur un large éventail de conditions, avec un modèle d'inspection en ligne en option pour la collecte de données en temps réel. Orion est également entièrement automatisable avec des logiciels exclusifs FSI, ce qui en fait un outil inestimable pour des lignes de production à haut volume. En outre, il est très facile à gérer avec la manutention automatisée du matériel et l'ordonnancement des opérations. En conséquence, les utilisateurs n'ont pas besoin de s'inquiéter de saisir manuellement des données ou d'ajuster constamment le matériel. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Orion est un équipement de photorésistance de pointe qui est conçu pour produire des résultats précis et efficaces capables d'une excellente intégrité de l'appareil dans un large éventail de conditions de processus. Il est idéal pour une production à haut volume et offre un processus automatisé et facile à gérer. Avec ses temps de cendres rapides et sa précision accrue, ce système est un outil inestimable pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.
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