Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Orion #9395754 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion est un équipement de photorésistance spécialement conçu pour développer et exposer des couches minces de polymères utilisés pour des applications photorésistantes. Le système a des capacités de fixation de haute résolution, et peut être utilisé pour une variété de processus, des disques simples aux réticules, masques de grande et moyenne zone, jetons à usage général et processus de fixation. L'unité FSI Orion dispose d'une fonction avancée de profilage de film à faible angle avec une option brevetée « Full Width Adjustment » pour contrôler l'épaisseur du film. Ceci permet une grande maîtrise du développement de la résine photosensible, permettant à l'opérateur de contrôler précisément la direction et la forme du motif. La machine TEL Orion est également capable d'exposer plusieurs modes, permettant à l'utilisateur de choisir entre des modes d'exposition simple, double ou même triple. Cette caractéristique est avantageuse lorsqu'il existe une variabilité potentiellement importante de la taille d'une caractéristique particulière de photorésist ou lorsque la formation d'une ou plusieurs caractéristiques particulières de photorésist est potentiellement plus difficile à réaliser avec une seule exposition. L'outil TOKYO ELECTRON Orion comprend également une fonction bidimensionnelle de balayage en Z qui permet à l'utilisateur de réduire le nombre d'étapes d'exposition prises et, en fin de compte, de diminuer le temps nécessaire pour réaliser un schéma souhaité. En outre, l'actif offre diverses capacités de contrôle de processus, y compris le contrôle de température, le contrôle de vitesse, le contrôle de focalisation et plus encore. Le modèle Orion est également capable de fournir des masques photorésistants avec une meilleure qualité et résolution que d'autres systèmes en raison de la haute vitesse de rotation, appareil photo numérique haute résolution et des capacités d'interpolation de balayage haute fréquence. La combinaison de ces caractéristiques permet à FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Orion de produire des masques photorésistants avec une résolution allant jusqu'à 1450 dpi. Les images à haute résolution produites par l'équipement permettent une plus grande précision du masque et donc un meilleur accompagnement des résultats lithographiques. Enfin, FSI Orion Photoresist System est entièrement automatisé et est livré avec un logiciel d'accompagnement pour l'étalonnage des paramètres de processus et le contrôle statistique des processus. Cela permet à l'opérateur de surveiller et d'ajuster facilement les paramètres du processus afin d'obtenir des résultats optimaux. Par conséquent, TEL Orion est un outil essentiel pour la fabrication de semi-conducteurs µDRAM.