Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP #293808180 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury MP est un équipement de photorésistance qui permet aux utilisateurs de tourner des substrats de couches minces pour l'application de photorésist et la gravure de motifs à la surface. Ce système innovant est conçu pour permettre un traitement fiable, précis et efficace avec un débit de production élevé. La conception de base de l'unité consiste en un bras radial incliné pour la rotation manuelle, un moteur planétaire pour le contrôle de vitesse de rotation, et un mandrin pour le maintien lisse et sûr des plaquettes de substrat. Sa plage de mouvement dynamique et réglable de 220 ° permet de charger et décharger facilement les substrats des cassettes de spin. Cette caractéristique est également utile pour des procédés uniformes d'enrobage par film mince, où le bras peut être ajusté pour stabiliser le substrat et maintenir une rotation constante pendant le processus de filage. La table tournante PFA est construite avec des composants lourds conçus pour durer, tels que des composants en aluminium anodisé, des roulements linéaires super lisses et des raccords durables. Son assemblage fiable assure la plus faible vibration, la durée de vie maximale et la précision de l'outil. La machine dispose également d'un revêtement optionnel résistant à l'acide, lui permettant de résister au dépôt chimique de photorésistants et de matériaux de gravure. La rotation de la broche est commandée par une commande à fréquence variable qui est précise à 0,1 Hz et fournit des capacités de contrôle à faible vitesse entre 100 et 20 000 tr/min. Le lecteur est également équipé d'une commande numérique de consigne avec commande automatique d'accélération et de décélération, ainsi que d'une protection contre les excès de vitesse pour le moteur et le substrat. FSI PFA Turntable for Mercury MP est conçu pour fournir un traitement photorésist fiable, efficace et précis pour un débit de production élevé. Sa conception et sa construction avancées, ainsi que son bras radial motorisé et sa gamme de mouvements réglables, permettent un processus de revêtement de spin optimal, du chargement au déchargement des plaquettes de substrat. Ses composants lourds et son assemblage fiable lui permettent de gérer facilement les applications photorésistantes les plus difficiles.
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