Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #293653294 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury est un équipement photorésist de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs. Il fournit une solution performante pour l'avancement des processus de lithographie. Ce système utilise une plate-forme de tables tournantes ultra-précises couplées à la technologie avancée de traitement des résines photosensibles haut de gamme Mercure. La table tournante FSI PFA offre une production haut de gamme fiable, tout en permettant la production de petites structures aussi petites que 25 nm. Cette unité fournit une précision supérieure, permettant la résolution de motifs complexes avec une excellente précision de recouvrement. Sa conception modulaire permet une large gamme de configurations personnalisables. La table tournante a une station de traitement intégrée qui permet le processus photorésist complet. Il comprend une plaque chaude intégrée, des fontaines et une pompe de diffusion interne. La plaque chaude intégrée a une capacité de température élevée avec une bonne uniformité. Il dispose également d'une plaque chaude en mouvement rapide, permettant des temps de virage rapides et un cyclisme efficace. Les fontaines sont conçues pour faciliter une répartition uniforme des liquides et un dosage précis afin d'obtenir des résultats précis. La pompe de diffusion aide à éliminer diverses particules indésirables du processus. FSI PFA Turntable for Mercury dispose également de rétroaction sur la température, ce qui signifie que la température est continuellement surveillée. Cela aide à minimiser la dérive thermique et de processus, améliorant les performances et la cohérence. En outre, il dispose d'une machine de mesure vidéo laser intégrée (LVMS) qui initie la collecte automatique de données pour un meilleur contrôle des processus et l'impression des recettes. Cet outil contient un codeur multidirectionnel 128 bits qui permet un contrôle précis de la position et de l'orientation du motif. D'autres caractéristiques comprennent un design fermé et une construction en acier inoxydable compatible salle blanche, assurant un environnement d'exploitation sûr et propre. La table tournante PFA est également compatible avec d'autres outils de processus, et offre une large gamme de solutions personnalisées. La combinaison de tous ces composants aide à fournir des processus reproductibles et fiables avec un contrôle extrêmement précis de l'alignement des motifs et des paramètres. Dans l'ensemble, TEL PFA Turntable for Mercury est un actif photorésist fiable et efficace idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant une précision et une répétabilité supérieures. Sa conception modulaire permet une large gamme de configurations personnalisables, et son intégration à haute température garantit une solution performante.