Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury #9252200 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PFA Turntable for Mercury est un équipement photorésist de haute précision conçu pour les applications de lithographie. Le plateau tournant utilise une plate-forme mécanique tournante et un système avancé de distribution de photorésist pour fournir un revêtement uniforme de photorésist sur une gamme de tailles et de formes de substrat. L'unité est conçue pour répondre aux exigences les plus exigeantes en lithographie de production, offrant une excellente mise en œuvre tout en maintenant la stabilité de l'exposition et du revêtement. La machine tournante dispose d'une architecture sophistiquée de commande en boucle fermée, permettant un contrôle précis des paramètres de direction critique et de vitesse pendant la rotation du substrat, afin de maximiser l'uniformité de la couverture du processus. Cette plate-forme de précision est conçue pour fournir un faible bruit et la dérive, avec une grande précision tout au long du processus. La table tournante utilise un outil moteur d'entraînement direct et un codeur angulaire ultra-précis pour minimiser les erreurs de décantation dues aux vibrations ou aux perturbations de l'air. Cela garantit la répétabilité des résultats des processus, avec l'atout capable de maintenir la précision de rotation et les niveaux d'uniformité dans les tolérances serrées des applications de lithographie. La source de mercure est installée à l'avant de la table tournante, fournissant un apport fiable, stable et économe en énergie de photorésist aux substrats. La source peut également être optimisée à l'aide d'algorithmes de contrôle avancés pour assurer une uniformité d'image cohérente tout au long du processus. Il est équipé d'un certain nombre de systèmes de sécurité, réduisant le risque de contamination accidentelle des procédés. En outre, la table tournante dispose d'une capacité de basculement rapide, permettant le chargement et le déchargement simultanés de substrats pour améliorer la productivité. La plate-forme est compatible avec différents formats de substrats, dont le quartz, le verre, la plaquette de silicium et le substrat organique. Avec un choix de capacité de chargement, y compris 150mm, 200mm ou 300mm, ces plaquettes sont rapidement traitées, fournissant la précision et la répétabilité nécessaires dans le processus de lithographie. FSI PFA Turntable for Mercury offre une solution fiable pour les applications de lithographie, combinant un modèle d'entraînement de haute précision et un équipement de livraison de photorésist avancé avec les dernières caractéristiques de sécurité dans un design compact et convivial.