Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 1000 #9264626 à vendre en France

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 1000
Vendu
ID: 9264626
In-line cluster Coater / (2) Developer systems.
FSI Polarisé 1000 (FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000) est un équipement de photorésistance utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. La photorésist est un matériau photosensible appliqué à la surface d'une plaquette semi-conductrice afin de créer des motifs dans les différentes couches du dispositif. Ceci est important pour la fabrication de circuits intégrés, car il permet de placer avec précision et précision les transistors, condensateurs et autres composants. Le système FSI Polaris 1000 utilise la lumière ultraviolette profonde (DUV) pour exposer rapidement la résine photosensible sur une variété de substrats. Cette lumière est fournie par une seule lampe saphir dopée au titane de 400mm (Ti : S) qui délivre de la lumière à une longueur d'onde de 250nm. De plus, l'unité peut accueillir une variété de modes d'éclairage différents, y compris le balayage rectangulaire parallèle, annulaire et uniforme. TEL Polaris 1000 dispose également d'une machine de métrologie entièrement automatique à couplage de charge (CCD), utilisée pour mesurer les paramètres liés à la photolithographie. Cet outil est capable de mesurer la linéarité et le déplacement à chaud/froid des images sur la surface de la plaquette. De plus, l'actif est équipé de modules d'obturation et de focalisation automatique pour s'assurer que la résine photosensible est exposée avec précision. Polaris 1000 est conçu pour être utilisé dans un environnement de salle blanche. Il est estimé à la Classe 1,000, en signifiant qu'il est manigancé pour maintenir un environnement cleanroom sans plus de 1 000 particules de grandeur 0.5μm ou plus grand par pied cubique d'air. En outre, le modèle est en mesure de stocker jusqu'à 50 recettes, ce qui le rend facile à programmer rapidement des opérations répétitives. TOKYO ELECTRON Polaris 1000 est un équipement photorésistant facile à utiliser, fiable et efficace pour les fabricants de semi-conducteurs. Il est capable de produire des images de haute précision sur divers substrats, et son système de métrologie CCD permet de mesurer avec précision les paramètres critiques du processus. Avec ses caractéristiques de sécurité intégrées, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 1000 est un excellent choix pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.
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