Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #293616823 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500 est un équipement de photorésistance utilisé pour produire des composants microélectroniques et optoélectroniques avec une précision rigoureuse. Le système utilise une unité de mouvement moteur pas à pas avancée et un logiciel propriétaire pour exposer et éliminer avec précision des zones spécifiques de matériau photorésist contenues sur un substrat. La machine dispose d'un aimant de focalisation optimisé et de conception d'obturateur à faible bruit permettant une précision submicronique dans le processus d'exposition. L'outil utilise un illuminateur optimisé par faisceau, qui est capable de produire des motifs lumineux et d'autres formes d'image à très haute résolution. Cet illuminateur offre une large gamme de longueurs d'onde lumineuse et a la capacité de créer des motifs lumineux très reproductibles et précis pour un meilleur rendement. En outre, l'illuminateur dispose d'un moniteur d'éclairage d'ouverture qui permet une surveillance précise de l'éclairage. L'actif dispose d'un modèle d'objectif numérique pour l'optique de projection. Cela permet un positionnement précis de la lentille de projection et offre les avantages d'un alignement facile, d'une meilleure qualité des motifs de répétition, d'une résolution accrue et de performances uniformes et reproductibles sur l'ensemble du champ de vision. Le cœur de l'équipement est la phase de 8 pouces de mandrin, qui peut positionner avec précision les substrats pendant le traitement. Son système de mandrin multi-points est capable de maintenir les substrats solidement en place tout en assurant un mouvement lisse avec une répétabilité élevée. L'étage est équipé de capteurs qui détectent la taille, le type et la position du substrat ainsi que la mesure de la température. L'unité dispose également d'un module de film multi-MESFET (Multi-canal, Electron-Selective-Field-Melting) qui expose avec précision et retire le matériau photorésist du substrat. Ce module supporte plusieurs canaux MESFET. avec le module photorésist, le module film assure un contrôle très reproductible et précis pendant le processus photorésist. FSI Polaris 3500 est une machine photorésistante innovante conçue pour produire des composants microélectroniques et optoélectroniques avec une précision élevée. Son illuminateur optimisé, son outil d'objectif numérique, son étage de mandrin et son module de film multi-MESFET offrent des capacités d'outillage et une précision de production inégalées.
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