Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 3500 #9092708 à vendre en France
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Vendu
ID: 9092708
Taille de la plaquette: 12"
Coater / Developer system, 12"
(2) Coat/Develop spin modules
Coat/blank spin module
Prime/Bake/Chill modules; (0) prime stations; (4) bake stations; (3) chill stations
Prime/Bake/Chill modules; (1) prime stations; (4) bake stations; (2) chill stations
I/O with (2) 12" FOUP platform
Scanner Interface
6-Axis wafer handling systems
Polaris water chiller II
(2) Carbon filter stack modules
Robot controller cabiner
User Interface Panel
Corner Dispense module
Electronic control module
T/H Environmental control system: cluster Plemm and ram 2000
Facilities platform
Electrical power distribution system
Stepper breezerway kit.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 3500 est un équipement de photorésistance de pointe capable de produire des couches de photorésist d'excellente qualité. Le système utilise une technologie propriétaire d'exposition aveugle, permettant un transfert d'image précis et répétable avec une défectivité minimale sur de larges surfaces. Il est capable de traiter de grandes plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre à haut débit. L'unité de photorésistance intègre une machine de manutention de plaquettes très précise commandée par un contrôleur de mouvement avancé, et est capable de manipuler même les substrats les plus fragiles. De plus, l'outil comporte un étage linéaire à haute résolution pour un positionnement précis du substrat par rapport à la source d'exposition, et un boîtier de blocage UV qui assure un fonctionnement sûr pendant l'exposition. FSI Polaris 3500 est conçu pour produire des couches photorésistantes de la plus haute qualité possible. Il est équipé d'un outil de traitement automatique des recettes (ARPS) pour contrôler les paramètres d'exposition tels que l'énergie, la dose et le temps, et le modèle est capable de produire des couches de résistance très uniformes de manière prévisible. TEL Polaris 3500 est également capable d'obtenir la meilleure stabilité de débit et de processus. Il dispose d'un équipement avancé de nettoyage latéral qui est conçu pour réduire les défauts des plaquettes, ainsi que d'un système Rapid Run qui permet un traitement plus rapide des couches de résistance. L'unité est également équipée d'une machine de prétraitement de surface sans bords, qui évite de résister à l'accumulation sur les bords du substrat, améliorant ainsi la qualité du motif. TOKYO ELECTRON Polaris 3500 est un outil de photorésistance très fiable et efficace. Sa conception modulaire permet un entretien facile, et l'actif utilise des algorithmes de contrôle avancés pour une exposition efficace à l'énergie et à la dose, assurant le plus haut niveau de fiabilité du processus. Globalement, ce modèle photorésist fournit d'excellents résultats de processus, et est un excellent choix pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs.
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