Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris PR #9375500 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris PR est un équipement de photorésistance développé par FSI International et TEL. Le système est conçu pour permettre aux utilisateurs d'obtenir une résolution supérieure pour les processus de gravure. Il combine un Masque Aligner haute résolution avec une solution complète de traitement humide et sec. Le Masque Aligner dans l'unité est capable de modéliser avec précision les micro-caractéristiques avec une résolution de sous-micron. Ceci est accompli grâce à une tête de lithographie de projection avancée avec une défocalisation améliorée et des piqûres de sous-ouverture. Le projecteur comporte également une stigmatisation variable et plusieurs systèmes d'autofocus pour assurer la précision. La solution de traitement humide et sec repose sur une plate-forme intégrée qui combine des chambres de traitement du plasma, des outils de traitement du spin, des outils de gravure, un chargeur de substrat et une interface utilisateur. Les chambres de traitement du plasma offrent des taux de gravure supérieurs et une stabilité de la couche de résine supérieure ; ils permettent également un contrôle précis du processus de gravure pour réduire les effets de surgravure. Les outils de traitement de spin facilitent la fixation précise des photorésists et d'autres matériaux. Les outils de gravure permettent l'élimination précise de substrats ou de caractéristiques non planaires. De plus, le chargeur de substrat offre un moyen automatisé de déplacer les substrats entre différents outils de traitement. La machine fournit également un contrôle précis des processus avec son outil intégré de contrôle des processus. Cet actif comprend l'enregistrement des données, la communication avec d'autres systèmes d'analyse et un outil de surveillance à distance qui peut être utilisé pour ajuster les paramètres du processus afin d'optimiser la performance du processus. En outre, le modèle est équipé de fonctionnalités supplémentaires telles que la surveillance de l'exposition et la segmentation des plaquettes pour améliorer encore le contrôle des processus. Enfin, l'interface utilisateur de l'équipement assure un fonctionnement intuitif et une visualisation des données. Il est doté d'un design ergonomique qui le rend facile à utiliser. Il comprend également un système avancé de production de rapports pour les processus de contrôle de la qualité. Dans l'ensemble, FSI Polaris PR est une unité de photorésistance avancée qui est conçue pour permettre aux utilisateurs d'obtenir une résolution supérieure pour les processus de gravure. Il combine un Mask Aligner haute résolution avec une solution complète de traitement humide et sec et fournit un contrôle précis des processus avec sa machine intégrée de contrôle des processus. L'interface utilisateur est conçue pour être intuitive et ergonomique pour un fonctionnement facile.