Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris #9092981 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris est un équipement de photorésistance avancé pour la fabrication de circuits intégrés. Photoresist est une technologie utilisée pour transférer des motifs et des structures vers des substrats dans le processus fab. Cet outil particulier est un outil supérieur en termes de vitesse, de résolution et de capacité. Les internes du système sont construits avec un processeur à semi-conducteur haute vitesse avancé. C'est le cœur de l'unité qui remplit des fonctions essentielles telles que le fonctionnement, le transfert de données et le traitement d'images. Il existe également une machine optique très sensible constituée d'un laser à balayage et de lentilles agissant conjointement avec un miroir déflecteur pour assurer une imagerie précise. L'outil est intégré avec un scanner double faisceau et avec la technologie d'imagerie brevetée centrée sur les solutions de Mitsubishi, FSI Polaris peut offrir des performances d'imagerie jusqu'à 2.5X plus rapides que son prédécesseur. L'actif comprend le contrôle de la température et une foule d'autres fonctionnalités. Le modèle est également construit avec un temps d'exposition optimisé, pour s'assurer que la photorésist ne crée pas de défauts sombres ou de résidus. Outre sa vitesse et sa précision d'imagerie, cet équipement comprend une fonctionnalité de scène de masque unique. Cette fonction permet à l'utilisateur de régler la hauteur et l'inclinaison de la photomasque lors de l'imagerie, ce qui permet un réglage précis de la dimension critique (CD) des caractéristiques submicroniques. TEL Polaris prend également en charge une large gamme de technologies E-Beam et Laser, offrant des options de lithographie plus flexibles que les technologies concurrentielles. De plus, le système abrite des technologies de caméras de pointe uniques, permettant à l'utilisateur de visualiser l'ensemble de la couverture de la plaquette en temps réel. Ceci permet d'identifier et de corriger des emplacements de défauts rendant le contrôle du processus de la plaquette beaucoup plus efficace. En termes de sécurité, l'unité utilise une fonction avancée de protection multicouche, qui garantit que les règles de sécurité sont respectées, et les composants importants de la machine sont protégés contre les dommages dus aux interférences électromagnétiques. Dans l'ensemble, Polaris est un outil de photorésistance unique, offrant des résultats supérieurs et une large gamme d'options. Il s'est avéré être un excellent choix pour la fabrication de circuits intégrés.
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