Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury #9354313 à vendre en France

ID: 9354313
Taille de la plaquette: 6"
6" 6 Positions Does not include cassettes.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury est un équipement photorésistant automatisé et autonome conçu pour les intégrateurs OEM et les utilisateurs de premier niveau. Il s'agit d'une solution rentable qui offre des capacités automatiques de revêtement et de cuisson avec des débits allant jusqu'à 75 wafers par heure. Le système comprend un plateau tournant de 11,8 pouces avec une inclinaison de 12 degrés pour une dispersion uniforme de la résine photosensible sur la plaquette. La table tournante PVDF est entraînée en rotation jusqu'à 3000 tr/min avec une accélération du plateau supérieur de 500 tr/sec2. La table réglable a une plage de température d'entrée de fluide entre 25 ° c et 65 ° c, et une température de chauffage arrière de jusqu'à 100 ° c. Cette table tournante PVDF est conçue pour une variété de photorésists, y compris des résistances positives et négatives, des photorésists à haute température, des traitements post-revêtement et d'autres matériaux de processus connexes. La conception de grande capacité permet un débit maximum avec un temps d'installation minimal. Des PLC intégrés et une interface opérateur écran tactile permettent un contrôle facile et précis de l'unité de distribution de liquide. La machine est certifiée UL pour un fonctionnement sûr et conçue pour répondre aux normes les plus élevées en matière de durabilité. La table tournante dispose d'un outil de diagnostic en ligne qui surveille les fonctions clés, y compris le vide, la température des plaques, la résistance à l'uniformité et la pression sur le substrat. Un logiciel unique automatise l'ensemble du cycle de revêtement de résistance, du contrôle posologique au chargement des plaquettes. Des fonctions avancées de journalisation des données et de gestion des recettes sont également incluses, permettant une conformité précise du processus en un seul clic. Pour prévenir l'accumulation de produits chimiques, la table tournante PVDF est équipée d'une utilisation unique, de buses auto-nettoyantes et d'actifs de drainage qui favorisent l'utilisation de résist propre. Le modèle est également conçu pour minimiser les déchets de spin-off avec une conception de pulvérisateur efficace et quencher intégré. FSI PVDF Turntable for Mercury est la solution idéale pour un large éventail de besoins de traitement de résines photosensibles. Avec sa conception robuste, ses caractéristiques de sécurité intégrées et son fonctionnement automatisé et efficace, il est le choix idéal pour les utilisateurs de résines photosensibles.
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