Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233648 à vendre en France
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP est un équipement photorésist polyvalent utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et les procédés avancés de lithographie. Il est conçu pour un large éventail de tâches, telles que le traitement des semi-conducteurs, la fabrication de dispositifs microélectroniques, la nanotechnologie, la lithographie avancée et d'autres zones de montage de surface. Le système offre une solution complète pour la fabrication des plaquettes, y compris le balisage, l'alignement, la gravure, la métrologie et le dépôt. Ses caractéristiques de pointe lui permettent de répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs d'aujourd'hui. L'unité FSI Saturn MP se compose de trois composants principaux : le contrôleur principal, un ensemble de modules de processus, et un bras robotique, pour le chargement et le déchargement des plaquettes de la machine. Le contrôleur est responsable du contrôle de tous les processus et de l'interface avec les machines externes, y compris les aligneurs de masques, les moteurs pas à pas, les rouleaux de résistance, les spin-coaters, les moniteurs atmosphériques et une gamme d'autres accessoires. Les modules de processus fournissent toutes les fonctions de puissance, de chauffage et de refroidissement nécessaires pour soutenir le processus de photolithographie. Le bras robotique est responsable du chargement et du déchargement des plaquettes et peut être ajusté pour une gamme de tailles de plaquettes. TEL Saturn MP offre une variété de fonctionnalités avancées pour maximiser l'efficacité et minimiser les temps d'arrêt. Il comprend une interface utilisateur multi-modèles pour les ajustements rapides des modèles, ainsi que la gestion des documents et l'établissement de rapports statistiques. Il offre également une gestion des plaquettes en un seul clic pour un accès rapide aux paramètres de démarrage des plaquettes, et un outil complet de gestion des recettes pour l'édition à distance et la gestion des recettes de photolithographie. L'actif offre également une traçabilité hors ligne facultative pour surveiller et enregistrer les différentes étapes du wafer pour l'assurance qualité. TOKYO ELECTRON Saturn MP est compatible avec une variété de produits chimiques de résistance, y compris les polymères, le ton continu et les photorésistes. Il dispose d'une gamme complète de produits consommables et de pièces de rechange leader dans l'industrie et d'un personnel technique engagé pour fournir des solutions et un soutien à la clientèle. Cela garantit que le modèle peut répondre aux exigences d'application les plus exigeantes tout en assurant la sécurité et les performances de haut niveau.
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