Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233649 à vendre en France

ID: 9233649
System.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP est un équipement photorésist à haute résolution entièrement automatisé conçu pour faciliter la fabrication de dispositifs ultra-micro-sensibles tels que les MEMS (systèmes mécaniques microélectroniques) et les dispositifs biomédicaux. En présentant le contrôle d'exposition avancé avec l'uniformité de dose basse, ce système est convenable pour traiter jusqu'à 4 pouces substrates dans la grandeur avec une 100 grandeur de trait de μm. Le FSI Saturn MP est équipé d'un scanner polygonal numérique qui permet à l'unité d'atteindre une résolution allant jusqu'à 5 μ m en un seul passage. En outre, la machine dispose d'une table d'étalonnage spéciale pour garantir des alignements précis lors de l'utilisation de l'un des différents logiciels de superposition avec lesquels l'outil est compatible. TEL Saturn MP fournit également aux utilisateurs une interface intuitive qui permet une configuration et un fonctionnement faciles, ce qui le rend idéal même pour les utilisateurs novices. Il supporte divers substrats, dont le Si (silicium), le polymère, le verre et le quartz, ainsi que les procédés humides traditionnels. Toutes ces caractéristiques rendent l'atout très polyvalent, permettant de structurer efficacement même les matériaux les plus difficiles. Le modèle est également capable de suivre et d'enregistrer des données de processus qui sont inestimables pour l'apprentissage et le dépannage. Cette caractéristique est particulièrement intéressante lorsqu'il s'agit de substrats complexes, car l'équipement peut fournir aux utilisateurs une analyse détaillée de leurs motifs et des résultats d'optimisation. Pour plus de commodité, TOKYO ELECTRON Saturn MP est offert avec une station de chimie modulaire, permettant un remplacement rapide et facile au besoin. Ceci pourrait être particulièrement utile lorsqu'il s'agit de matériaux de substrat nécessitant un traitement spécialisé. Dans l'ensemble, Saturn MP est un système de résistance photosensible de pointe conçu pour rendre la fabrication de dispositifs ultra-micro-sensibles plus facile et plus efficace. Avec son contrôle d'exposition avancé, son interface intuitive et son poste de chimie modulaire, cette unité offre aux utilisateurs une solution photorésist puissante et fiable.
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