Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293811533 à vendre en France

FSI Saturn est un équipement de haute performance conçu pour le traitement de lithographie avancée des technologies IC avancées. Le système consiste en une unité d'imagerie numérique à haute résolution couplée à une station de traitement thermique/sous vide à grande vitesse. Il permet des capacités d'imagerie et de gravure de haute précision pour la création de fonctions de rapport de sous-microns et d'aspect élevé sur les plaquettes semi-conductrices. Saturn offre une combinaison d'imagerie numérique et de technologies de traitement thermique/sous vide pour fournir des résultats de lithographie extrêmement précis, reproductibles et fiables. Il utilise une machine d'acquisition d'image numérique propriétaire qui dispose de capacités d'imagerie corrigées optiquement, plein champ et grande surface en une seule exposition. En outre, il offre un ensemble avancé de techniques d'amélioration de la résolution intégrée (RET-E) pour atteindre les principales capacités de lithographie de sous-microns. L'outil comprend une station de traitement sous vide haut de gamme et une unité de contrôle thermique ainsi qu'un panneau de contrôle multi-zones intuitif. Cela permet un contrôle précis, répétable et précis des paramètres de traitement, ce qui donne des produits à très haut rendement avec une homogénéité et des résultats de traitement supérieurs. FSI Saturn dispose également d'une vaste zone active et d'une grande variété d'options de manipulation d'échantillons pour accueillir plusieurs couches de traitement. L'atout est conçu pour fournir des temps de retournement d'imagerie et de traitement rapides, avec un temps de cycle total de seulement 1-2 minutes. De plus, il dispose d'un modèle intégré de surveillance, d'exploitation et d'analyse des données, ce qui permet de réaliser des économies importantes. L'équipement a été conçu pour des coûts d'exploitation faibles et la facilité d'utilisation, fournissant une gamme complète d'options de lithographie dans une solution compacte. Saturn est un système de photorésistance économique et riche en fonctionnalités conçu pour les capacités avancées de traitement de la lithographie. Il fournit des résultats d'imagerie et de gravure très précis et fiables grâce à son unité d'acquisition d'image numérique exclusive et à des techniques avancées d'amélioration de la résolution. Avec ses temps de traitement rapides et sa machine intégrée pour l'analyse des données, FSI Saturn est une solution idéale pour des applications de fabrication et de recherche haut de gamme.