Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9036933 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn est un équipement de photorésistance, conçu pour fournir un procédé de lithographie précis et précis pour la production de dispositifs complexes à semi-conducteurs haute densité. Le système photorésist est composé d'une source lumineuse, d'une optique de projection et d'une chambre de procédé. La source lumineuse fournit de la lumière ultraviolette pour exposer la résine photosensible sur la surface de la plaquette. La machine d'optique de projection projette l'image du motif sur la plaquette, permettant un placement précis et précis des structures. La chambre de procédé fournit un environnement lithographique professionnel sous pression pour que la plaquette soit exposée. L'outil FSI Saturn photoresist est capable d'exposition aux rayons ultraviolets profonds (DUV) sur des dispositifs tels que la mémoire vive magnétique (MRAM), la mémoire vive statique (SRAM), le traitement numérique du signal (DSP), l'actif sur une puce (SoC), les réseaux de portes programmables sur le terrain (FPGA) et les microprocesseurs. Le modèle peut exposer des circuits sur des matériaux de substrat tels que le silicium, le germanium, le quartz piézoélectrique et d'autres matériaux similaires. L'application de développement par défaut de l'équipement est de fournir des caractéristiques minimales de tailles allant de 0,14 à 0,6 um, tout en utilisant une résolution uniforme sur toute la gamme d'espace d'exposition. Les méthodes d'exposition comprennent l'exposition descendante à une plaquette, l'exposition côte à côte et les multiples expositions au masque. Le système de résines photosensibles TEL Saturn est également capable d'un alignement de motifs ultra précis avec l'utilisation de marques d'alignement sur plaquettes, permettant une précision jusqu'à 0,037 micromètres. TOKYO ELECTRON Saturn photoresist unit est conçu pour fournir une plate-forme fiable et simple pour le développement de dispositifs à micro-échelle. La machine a une faible consommation d'énergie et peut être équipée de chambres de procédés à grande et à petite échelle. Il utilise une source UV longue longueur d'onde pour assurer une exposition précise à la lithographie et utilise une technologie optique de pointe pour un processus propre et uniforme. L'outil est équipé d'un étage de plaquette motorisé intégré, permettant une maniabilité et une précision précises lors de l'alignement du tir. En outre, Saturn photoresist actif est conçu avec une interface de contrôle interactif tactile qui permet un fonctionnement facile et la surveillance du processus lithographique. Dans l'ensemble, le modèle FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn offre aux utilisateurs une plate-forme fiable, précise et précise pour le développement de dispositifs à micro-échelle. Les diverses méthodes d'exposition, la combinaison de l'étage de plaquette motorisé et de la source UV longue longueur d'onde permettent à l'équipement de fournir des caractéristiques de dimensions allant de 0,14 à 0,6 um avec une résolution uniforme sur l'ensemble de l'espace d'exposition. Ses puissantes fonctionnalités de personnalisation logicielle et son interface de contrôle interactif sur écran tactile font du système une solution facile et efficace pour divers processus lithographiques.