Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9236451 à vendre en France
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ID: 9236451
Taille de la plaquette: 6"
Systems, 6"
(4) Cassettes
Does not include DI Water heater
Flow pickup
Canisters:
(2) Chemical canisters for system 1:
H2SO4
H202
HCL
(2) Chemical canisters for system 2:
H2SO4
H202
HCL
HF
NH4OH.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn est un équipement de photorésistance conçu pour diverses applications, y compris la photolithographie, la métrologie, l'imagerie par contact optique et électrique et l'inspection des défauts. Il offre une gamme de fonctionnalités pour une variété d'applications, allant de ses capacités d'imagerie haute résolution à ses capacités d'automatisation avancée et d'analyse assistée par ordinateur. Le système est construit autour d'une nouvelle disposition optique avec une source/détecteur à entrefer variable, permettant à la machine de détecter des signaux de taille et de forme variables. Cette disposition optique, combinée à un outil d'imagerie haute vitesse et à un outil automatisé d'analyse des plaquettes, fait de FSI Saturn un outil puissant pour la capture et la caractérisation d'images de haute précision. Le modèle TEL Saturn est un équipement d'imagerie et de contrôle numérique 16 bits, qui peut être utilisé avec une gamme de plates-formes informatiques différentes. Il offre un large champ de vision (6.5x6.5mm) pour l'imagerie de grands objets et surfaces, et fournit une résolution jusqu'à 0.8 microns. Son système source/détecteur à écart variable permet une clarté et une précision d'image optimales dans une grande variété d'environnements physiques. L'unité est également capable de reconnaître jusqu'à 16 motifs lors d'inspections automatisées, y compris des pyramides semi-conductrices et des structures cylindriques. Au cœur de la machine se trouvent ses techniques de capture d'images brevetées et avancées, qui permettent des capacités d'imagerie et d'analyse de signal remarquablement précises. Saturne est capable de mesurer la distorsion du front d'onde et le contraste d'image, en utilisant un codeur linéaire spécialisé qui lit un signal numérique haute résolution du matériel de capture d'image, ainsi que sa technologie d'interférométrie brevetée pour analyser la topologie de surface. Cette combinaison de caractéristiques permet à l'outil de détecter des défauts aussi petits que 0,5 micron de largeur, et de mesurer des structures individuelles de l'ordre de 200 microns d'épaisseur avec une précision remarquable. TOKYO ELECTRON L'atout d'automatisation de Saturne est conçu pour assurer que tous ses composants travaillent ensemble pour produire des images de haute qualité en continu. Le modèle comprend des algorithmes intelligents pour l'auto-étalonnage, le contrôle automatisé des processus et la maintenance prédictive, ce qui en fait une solution idéale pour les applications de contrôle de précision. En outre, le progiciel personnalisé FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn comprend des outils d'analyse d'images interactifs et de modification de lots. Bref, l'équipement FSI Saturn représente une puissante capacité de capture et de caractérisation d'images de haute précision. Son système de détection/source à écart variable, son unité d'imagerie rapide, sa machine d'analyse automatisée des plaquettes et ses capacités avancées d'auto-étalonnage et de maintenance prédictive en font une plate-forme idéale pour de nombreux processus de fabrication avancés. La caractérisation précise de la topologie de surface et la détection de petits défauts de l'outil TEL Saturn en font un atout inestimable pour de nombreuses industries, de la fabrication de semi-conducteurs aux procédés d'impression et de miniturisation.
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