Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9237266 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn est un équipement de photorésistance qui est utilisé pour fabriquer et concevoir des circuits intégrés. Le système est spécialement conçu pour les procédés de planarisation mécanique chimique (CMP), qui impliquent la gravure chimique et le polissage physique des substrats. Cette unité est utilisée pour augmenter les performances, la fiabilité et le rendement des dispositifs semi-conducteurs. La machine FSI Saturn est composée de trois composants principaux : un enrouleur de spin, une piste de développement et un outil de métrologie automatique des plaquettes (AWMS). Le spin coater est utilisé pour appliquer un film photorésist sur les plaquettes. La voie de développement est responsable du développement de la résine photosensible. L'AWMS détermine la vitesse et le temps de rotation de l'enrobeur, ainsi que la température et le temps de développement de la piste, afin d'assurer une performance optimale de chaque processus de gravure et de polissage. TEL Saturn est capable de réaliser divers processus CMP, y compris le polissage physique, la gravure chimique, la gravure et le polissage, la cuisson et la cuisson à la pâte dure, le spincoating et le lavage. Tous ces processus sont contrôlés à l'aide du logiciel du modèle. En optimisant les paramètres de processus CMP comme la vitesse, la pression et la température, l'équipement contribue à améliorer les performances, la fiabilité et le rendement des dispositifs semi-conducteurs. Le système dispose également d'une variété de fonctions post-processus, telles que la passivation de bord, la gravure de résiste en vrac, et le transfert d'image de paroi latérale. En termes de sécurité, Saturne répond à toutes les exigences d'une unité de photorésistance. Il est équipé de capteurs de sécurité multiples, qui détectent les risques éventuels et avertissent les opérateurs de tout danger. Une fonction d'arrêt d'urgence est également incluse, ainsi qu'un manuel d'instruction et un guide de sécurité pour aider les opérateurs à comprendre la machine et à suivre les procédures de sécurité. En conclusion, TOKYO ELECTRON Saturn est un outil avancé pour concevoir et fabriquer des circuits intégrés. Il dispose de paramètres CMP optimisés, ainsi que des fonctions post-processus, pour assurer une sortie fiable et de haute qualité. L'actif fournit également de nombreuses caractéristiques de sécurité, ce qui en fait une solution sûre et efficace pour l'ingénierie et la fabrication de micropuces.