Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #9364338 à vendre en France

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON TITAN est un équipement de photorésistance conçu pour des applications avancées de lithographie. Il dispose d'un système optique précis de haute résolution avec une grande profondeur de focalisation qui permet l'utilisation d'une grande variété de résistances. L'unité se compose d'une machine optique de réduction de pression haute résolution, d'une chambre d'imagerie basse pression, d'une source d'exposition multimode ou monomode et d'un outil de contrôle automatisé. Cet atout est utilisé pour des procédés de photolithographie avancés, tels que le transfert d'images de sous-micromètres et la coupe de circuits. Il aide également à réduire le coût et le temps pour le processus d'exposition. En outre, il offre une précision et une fiabilité améliorées, une excellente répétabilité et une précision d'inspection améliorée. Le modèle peut être utilisé pour une variété de matériaux, y compris des polymères, des films diélectriques à haut k, des composés III-V et des métaux. Il offre un processus de résistance optimisé pour atteindre à la fois le balisage et le contrôle de profil. Cela signifie que les mêmes paramètres peuvent être utilisés pour traiter des surfaces de matériaux différents. L'équipement offre également la flexibilité d'appliquer diverses techniques d'imagerie basées sur la même plate-forme système. Ces techniques comprennent la lithographie modulée en amplitude, déphasée et combinée. De plus, l'unité assure une meilleure précision de détection des défauts grâce à son optique haute résolution. Les composants de la machine comprennent la source, le détecteur et l'optique. L'optique est constituée d'une lentille télécentrique, d'un condenseur de forte puissance et d'une optique de démagnification. La source comprend un laser pulsé, et le détecteur est constitué de filtres Gauss et d'un réseau linéaire d'éléments détecteurs. L'outil d'imagerie est conçu pour fournir une image de distorsion positive uniforme, et il peut être utilisé pour les résistances positives et négatives. Dans l'ensemble, FSI TITAN est un actif photorésist facile à utiliser et fiable. Sa longue profondeur de focalisation et son optique haute résolution le rendent idéal pour les applications avancées de lithographie. Il offre une précision et une fiabilité améliorées, une excellente répétabilité et une précision d'inspection améliorée. En outre, sa source d'exposition multimode et monomode permet l'application d'une variété de processus de résistance pour atteindre le balisage et le contrôle de profil.