Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Transfer Chamber #293665124 à vendre en France
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ID: 293665124
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Transfer Chamber est un équipement de photorésistance utilisé pour créer des dispositifs micro-électroniques avancés. Le système utilise la photolithographie pour graver des motifs sur un substrat de plaque de silicium pour créer des caractéristiques de dispositifs électroniques complexes ou de micropuces. Cette unité est composée de plusieurs composants, dont une station d'application de photorésist, un aligneur de masque et une machine à cuire. La station d'application de la photorésist applique une photorésist, un matériau photosensible, sur le substrat de la plaquette à l'aide d'un revêtement de spin. Ce procédé consiste à faire tourner la plaquette sur un mandrin tout en l'enrobant d'une solution liquide de photorésist-solvant. Une fois la solution appliquée, la plaquette est exposée à la lumière ultraviolette (UV). La lumière UV active des motifs photolithographiques sur la plaquette qui sont désignés par un masque ou un pochoir. Le composant suivant, l'aligneur de masque, est utilisé pour enregistrer précisément la plaquette avec le masque. Cela permet de s'assurer que les motifs sur le masque correspondent parfaitement aux motifs sur la plaquette. L'enregistrement est effectué par un interféromètre laser qui mesure la distance entre la plaquette et le masque. Le dernier composant est l'outil de cuisson. Après alignement, la plaquette est placée dans un four pour la chauffer. Ce processus de durcissement relie la résine photosensible à une forme durable et plus durable qui peut résister aux processus de gravure ultérieurs. Une fois le processus de durcissement terminé, le processus de gravure peut commencer. Cette gravure est utilisée pour éliminer les couches indésirables de silicium et créer des motifs pour former les composants de dispositif désirés. FSI Transfer Chamber est un actif avancé de photolithographie utilisé pour créer des appareils micro-électroniques complexes. Il se compose de composants tels qu'une station d'application de photorésist, un aligneur de masque et un modèle de gâteau, qui travaillent ensemble pour graver des motifs sur le substrat. Ensemble, ces outils fournissent la précision et la précision nécessaires au développement et à la production d'appareils électroniques de pointe.
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