Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #9031466 à vendre en France
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ID: 9031466
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2002
Spray cleaning system, 8"
Robot options are available
2002 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200 Photoresist Equipment est un système sophistiqué de lithographie et de dépôt en couches minces utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour des procédés de fixation de haute précision sur une variété de substrats, des plaquettes de quartz aux nanostructures et autres structures complexes. Ses capacités comprennent le tracé sur plusieurs dimensions avec un alignement précis des plaquettes et des performances optiques supérieures. Au cœur de l'unité FSI Zeta 200 se trouve un faisceau d'électrons à balayage haute résolution (SEB) avec jusqu'à des capacités 3D. Le SEB est capable de transférer physiquement des motifs sophistiqués sur un substrat avec un haut degré de précision et de précision. Les caractéristiques du SEB comprennent une interface utilisateur graphique intuitive (UI) pour contrôler la taille de la tache du faisceau, le courant du faisceau et la dose d'exposition. De plus, le SEB permet un balayage précis et rapide des compositions chimiques et des géométries afin de créer des motifs complexes. La machine possède également une fonction d'alignement automatisé des plaquettes qui permet un alignement précis du profil du faisceau sur le substrat cible. TEL Zeta 200 utilise également plusieurs types de photorésistants pour les zones critiques du processus de fixation. Il fonctionne avec des photorésists positifs, négatifs et à double tonalité et peut déposer des matériaux photosensibles sur une variété de matériaux de plaquettes tels que le quartz, le silicium et l'arséniure de gallium. Il a une capacité éprouvée de modeler des masques lithographiques avec une résolution de 1,0 μ m ou moins. TOKYO ELECTRON Zeta 200 est polyvalent et peut facilement être personnalisé pour des applications spécifiques. Il offre un traitement par lots simple et rapide pour des films uniformes, ainsi que des fours à four et un environnement à faible humidité pour les processus critiques. De plus, le Zeta 200 est équipé d'un outil de gravure à faisceau d'ions leader dans l'industrie, capable d'atteindre une résolution de 1,5 μ m. L'actif de gravure par faisceau d'ions garantit une qualité de gravure et une uniformité supérieures pour un rendement maximal. Le modèle FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200 offre également une précision et un contrôle extrêmes avec un rejet amélioré des défauts et une répétabilité améliorée des processus. Ses composants d'amortissement du rayonnement offrent une protection maximale contre l'exposition aux rayons X et un environnement de travail sûr et sain. Cet équipement est bien adapté aux applications nécessitant un haut degré de précision et de fiabilité. Il a été utilisé dans la fabrication de dispositifs MEMS, nanodévices, écrans OLED, et d'autres dispositifs semi-conducteurs.
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