Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600179 à vendre en France

Le FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 est un équipement de haute performance conçu pour la fabrication de dispositifs électroniques. Il rassemble des solutions matérielles et logicielles avancées pour fournir la plus grande précision et le meilleur débit possible pour la fabrication moderne de semi-conducteurs. Le système est capable d'imagerie lithographique de la plus haute précision, ainsi que le nettoyage, la cuisson et le traitement des matériaux photorésistants. La source d'éclairage est un réseau LED de longueur d'onde triple. Les LED sont réglables indépendamment pour fournir trois profondeurs de champ différentes, permettant une excellente focalisation et une résolution maximale. La table de substrat automatisée permet d'obtenir la plus grande précision du matériau photorésist, sans avoir à régler manuellement la position focale. Il en résulte une précision et une répétabilité optimales du processus. La chambre de traitement photorésist est équipée d'une gamme de plateaux chauffés, permettant des opérations de cuisson « à chaud » et « à chaud », ainsi que le traitement pré-gravure. La chambre dispose également d'une unité de vide, permettant un contrôle optimal des taux d'humidité et d'autres caractéristiques, telles que la diffusion thermique. La chambre est en outre supportée par une machine de refroidissement de recirculation spécialisée, assurant le plus haut niveau de précision et de régulation thermique. Le moteur pas à pas de haute précision et l'outil d'alignement des étages, ainsi que la transmission automatisée des plaquettes, minimisent les désalignements et le risque global de formation de défaut « Through Silicon Via » (TSV). Cela garantit des fabrications efficaces avec une intervention minimale de l'utilisateur. En outre, la suite logicielle complète de l'actif offre une adaptabilité et une configurabilité complètes. Le modèle supporte une large gamme de systèmes photorésistants, avec des réglages qui peuvent être optimisés pour chaque recette spécifique. Cela permet également de configurer facilement des recettes complexes pour les processus à faible impact, tels que l'autoalignement double. En résumé, l'équipement photorésist FSI Zeta 300 G3 est un système très avancé conçu pour la production de semi-conducteurs très précis. Ses capacités avancées d'éclairage, de chauffage et de refroidissement, combinées à sa suite logicielle complète, lui permettent d'obtenir des résultats de production cohérents et reproductibles.