Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #293639153 à vendre en France

ID: 293639153
Taille de la plaquette: 12"
Spray cleaning system, 12".
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 est un équipement de photorésistance spécialisé conçu pour des travaux de lithographie de haute précision. Ce système est composé d'un certain nombre de composants, dont une unité de commande principale, une source de lumière, un microscope, une chambre, un étage de plaquettes et des porteurs de plaquettes. Le contrôleur principal contient un ordinateur pour surveiller l'unité, ainsi que des commandes programmables pour ajuster les paramètres de la machine. La source de lumière est une lumière UV conçue pour exposer la photorésist à la bonne longueur d'onde afin de créer un motif. Le microscope est utilisé pour focaliser précisément la lumière sur la photorésist, et peut être ajusté pour une résolution d'image optimale. La chambre est un grand récipient pour loger les composants à l'intérieur et maintenir un environnement propre et sans poussière. L'étage de plaquette est utilisé pour déplacer la pièce en cours de traitement, et les porte-plaquettes sont utilisés pour assurer la position optimale de la résine photosensible à l'intérieur de la chambre. En plus de ses composants, le FSI Zeta 300 a également plusieurs fonctionnalités pour améliorer ses performances. Ces caractéristiques comprennent un outil de projection haute densité, le support de microscope nano-électron, et la surveillance en temps réel de l'actif. TEL Zeta 300 offre une lithographie de haute précision, avec une largeur de raie minimale de 0,2 µm, et une haute résolution de 100 nanomètres. Il est capable de maintenir une précision d'alignement inférieure à 0,02 µm et une profondeur de focalisation de 0,6 µm, ce qui permet d'obtenir des résultats répétables et fiables. En outre, il est capable de déplacer rapidement la pièce, obtenant une vitesse de balayage allant jusqu'à 25 mm par seconde. TOKYO ELECTRON Zeta 300 est conçu pour être utilisé en combinaison avec d'autres outils dans un processus de lithographie, y compris une cassette de substrat, des modules de nettoyage et des unités de traitement de résines. Tous ces composants sont intégrés par une interface utilisateur unique pour assurer un fonctionnement efficace mais fiable. En outre, le modèle est capable de manipuler une large gamme de matériaux photorésistants, y compris le type liquide et sec. Dans l'ensemble, Zeta 300 est un équipement de photorésistance de pointe bien adapté à une variété d'applications de lithographie. Il dispose d'une gamme de fonctionnalités et de composants qui le rendent facile à utiliser, tout en fournissant des résultats de haute précision et fiables.
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