Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta G2 #9204590 à vendre en France

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ID: 9204590
Style Vintage: 2004
Spray cleaning system Type: Semi-auto Main unit: Process module Fluid delivery module Canister console 1 / H2O2, NH4OH, solvent Canister console 2 / HCL, HF, H2SO4, H2SO4 Semi-auto type facade Power distribution cabinet 40 KVA, 200V-230V Transformer 70 KVA, 200V-480V Transformer UPS Misc: 2P PFA Turntable, 12" 4P PFA Turntable, 8" (2) Process cassettes, 12" (4) ViPR Process cassettes, 12" 2004 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2 est un équipement de photorésistance conçu avec une technologie exclusive de pointe pour fournir des capacités de gravure et de lithographie pour des procédés tels que le MEMS, l'industrie des semi-conducteurs. FSI Zeta G2 offre une acuité supérieure et une haute résolution pour aider les fabricants à produire des produits de pointe. Il intègre deux technologies fondamentales pour le dépôt de la couche atomique et le contrôle des processus afin de créer un système de photorésistance avancé. TEL Zeta G2 est un graveur à pression atmosphérique configuré avec les dernières technologies de sources de plasma pour fournir une gravure précise et uniforme. Il est conçu pour graver les films avec plus de précision et de fiabilité, tout en offrant un rapport de gravure élevé et une uniformité de vitesse de gravure élevée. L'unité dispose également d'un contrôleur PID de chambre à vide amélioré qui aide à améliorer la gravure dans différentes conditions de processus. Zeta G2 a également une approche de la lithographie basée sur des systèmes qui combine gravure à haut rapport d'aspect, alignement précis des plaquettes et précision de superposition. Il est configuré avec une trace lithographique à haut débit pour aider à assurer des performances de marquage uniformes et reproductibles pendant le processus de gravure. En outre, il dispose d'une métrologie optique automatisée avancée qui permet des mesures plus précises des résultats de processus. TOKYO ELECTRON Zeta G2 est également livré avec un outil de cluster entièrement automatisé qui aide à réduire les coûts en réduisant le nombre d'ajustements manuels nécessaires pendant le processus. Cet outil de cluster automate permet un temps de processus plus rapide avec moins de pannes dues à une gravure ou une lithographie inexactes. L'outil de cluster aide également à normaliser les recettes de processus, permettant aux utilisateurs de configurer plusieurs processus en une seule fois. Dans l'ensemble, FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2 est une machine de photorésistance avancée qui offre d'excellentes capacités de gravure et de lithographie pour des procédés tels que la fabrication MEMS. Il est conçu avec des technologies exclusives pour la gravure et la lithographie, un outil de grappe automatisé avancé, un contrôleur PID à chambre à vide amélioré, et une métrologie optique automatisée pour assurer des résultats plus précis. Avec FSI Zeta G2, les fabricants peuvent réaliser des produits de haute qualité de manière plus rapide et plus économique.
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