Occasion HITACHI PR stripping system #293670389 à vendre en France

L'équipement de décapage HITACHI PR est un système de retrait de résines photosensibles qui utilise des technologies exclusives de HITACHI High-Technologies Corporation. L'unité est conçue pour être utilisée dans une large gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs à couches minces. La machine peut également être utilisée avec des couches diélectriques, des photorésistes et d'autres résidus organiques. L'outil est très fiable et peut décaper la résine photosensible rapidement et efficacement. Il utilise une combinaison de lumière infrarouge (IR), de lumière UV et de chaleur sèche. La combinaison des trois composants permet un décapage à sec à chaud et à froid. L'actif utilise la technologie infrarouge, qui fournit de l'énergie localisée, contrôlée et détecte précisément la couche de photorésist. Le composant UV améliore le processus de gravure en assurant l'activation chimique sans contact de la résine photosensible et en permettant le décapage de précision. Le chauffage peut être utilisé pour assurer le décapage à chaud des photorésistances et des couches diélectriques. Le modèle est basé sur des paramètres optimisés pour améliorer la qualité du décapage et se caractérise par sa faible variation entre les plaquettes. Il est conçu pour minimiser la formation de particules et de défauts tout en atteignant un haut débit. L'équipement comprend des capacités de chauffage « tridimensionnelles » avec une oscillation des éléments chauffants intérieurs et extérieurs pour assurer une répartition uniforme de la chaleur. Ceci assure un taux de contournement uniforme. De plus, le film spécial qui est appliqué à l'échantillon pour augmenter la transmission de la lumière améliore la précision de détection des composants infrarouges et UV. Le système est équipé d'une interface tactile qui permet à l'utilisateur de surveiller, modifier et stocker les paramètres du processus. Il a également le contrôle de la température, le contrôle de la pression et le contrôle de l'épaisseur de la couche. L'unité peut être utilisée pour une variété de processus d'élimination de la résine photosensible, y compris la photo-lithographie, la litho-gravure, et la gravure sèche. Il convient également pour une utilisation avec des résidus diélectriques et organiques. La machine est très fiable et fournit un dénudage rapide et précis sans sacrifier la qualité ou le débit.