Occasion KARL SUSS ACS 200 Plus #293738220 à vendre en France

ID: 293738220
Coater / Developer system.
KARL SUSS ACS 200 Plus est un équipement de photorésistance pour des applications de haute précision en lithographie et gravure. Le système fournit une méthode automatisée de développement et de traitement d'une grande variété de photorésistances pour assurer une gravure précise sur une variété de substrats. Cette unité peut être utilisée pour modeler des caractéristiques avec une résolution latérale inférieure à 0,5 μ m. Il fonctionne en exposant le substrat à un faisceau de lumière à l'aide d'une source laser fine. L'exposition à la lumière est utilisée pour modifier la sensibilité de la résine photosensible. Le photorésist modifié réagit différemment aux traitements chimiques ultérieurs et, selon le type de photorésist utilisé, sera soit plus ou moins résistant aux solvants ou aux etchants. Cela permet à l'utilisateur de créer un motif clair et précis sur le substrat. Le microscope avancé de la machine permet de visualiser et d'inspecter avec précision une grande variété de plaquettes et de substrats. Il a également une précision de position de 3 μ m, assurant que quelle que soit la taille ou la forme du substrat, le motif sera appliqué avec précision. La taille du faisceau contrôlé par laser fournit une intensité d'exposition uniforme avec une précision de pointage, fournissant une taille précise des caractéristiques et des motifs précis. ACS 200 Plus a la capacité d'atteindre une précision de dimension critique (CD) ± 10 % dans une plage de masque prédéterminée. Il a également la capacité d'utiliser des conceptions de maskset complexes. L'outil dispose également d'un actif de gestion de processus qui peut surveiller et contrôler plusieurs processus en parallèle. Cela permet au modèle de traiter un grand nombre de substrats en une seule fois, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de photomasques et les processus de production à haut volume/haute efficacité. En outre, KARL SUSS ACS 200 Plus dispose d'un excellent contrôle de la température et d'un contrôle avancé du débit de gaz qui garantissent les plus hauts niveaux de reproductibilité lors du traitement des plaquettes et des substrats. Sa flexibilité permet l'utilisation d'une grande variété de substrats et de produits chimiques garantissant qu'il peut être utilisé efficacement pour de nombreuses applications différentes. Dans l'ensemble, l'ACS 200 Plus est un équipement de photorésistance avancé avec une résolution de haute précision, une excellente répétabilité et la capacité de gérer plusieurs processus à la fois. Cela en fait un choix idéal pour la fabrication de photomasques, le traitement des plaquettes et la gravure.
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