Occasion KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #293756494 à vendre en France
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ID: 293756494
Taille de la plaquette: 4"-6"
Style Vintage: 2001
System, 4"-6"
Photoresist developer, 2"-8"
(2) Photoresist dispenses
Vapor prime hot plate
(5) Hot plates
(4) Chill plates
(2) Cassette elevators
(2) Standard robots
Wafer backside rinse
CE Marked
Cassette
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200 est un équipement de traitement de photorésist qui a été conçu pour permettre la création de masques de précision et le décapage des substrats. Le système est une unité de traitement humide automatisé complète, capable de traiter les masques à haute vitesse pour créer des images fines et de haute qualité dans une grande variété d'applications, de la lithographie au MEMS. La machine est composée de trois parties principales : le processeur de masque, le nettoyeur de masque et un développeur. Le processeur de masque de MICROTEC ACS200 fournit un éclairage uniforme pour la fabrication de masques très précis, avec une option pour l'exposition supérieure ou inférieure. De plus, les chimistries à procédé humide MICROTEC D-acide sont utilisées pour rincer, enlever ou remplacer les substances chimiques et les particules résiduelles des plaques de masquage. Ce procédé permet un traitement uniforme et efficace des masques. Le nettoyant de masque KARL SUSS ACS-200 assure un nettoyage de haute qualité des surfaces de revêtement résistantes. L'outil de contrôle programmé par mémoire permet de nettoyer avec précision les surfaces des masques grâce à la technologie des filtres à membrane, assurant une élimination des contaminants avant la cuisson et le développement. Le développeur de KARL SUSS ACS200 est capable d'exécuter un large éventail d'étapes de développement, y compris le développement backside (low energy), le développement top-side (high energy), les inondations légères (low energy) et les inondations chimiques (high energy). Cela permet un contrôle précis du processus de développement, avec la capacité de contrôler le temps passé à chaque étape. ACS 200 est une solution idéale pour des applications telles que la micro-lithographie, le traitement chimique par voie humide, la fabrication de masques et le prototypage. L'atout permet une répétabilité du processus et un contrôle précis du processus de développement. Avec son programme de contrôle avancé, KARL SUSS/MICROTEC ACS200 peut gérer une variété de processus de fabrication de masques, assurant que les images de la plus haute qualité sont produites.
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