Occasion KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9213836 à vendre en France
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ID: 9213836
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Coater / Developer system, 8"
Material Handling Unit (MHU):
GENMARK Gencobot 8Y robot
Robot end effectors
Robot cassette scanner
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Universal centering station
Optical prealigner
Spin coat module:
GYRSET RC 8 Spin coater
Spent chemical monitoring scale
VULCAN Dispense pump
Virgin dispense pump
MILLIPORE Wafergard Gen-2 plus pump
MILLIPORE Wafergard Chemical dispense system
Timed pump
HCV Module:
Hot plate chamber
Cold plate chamber
Vapor prime chamber
Cassette module:
Auto-sizing cassette holder
Manual-sizing cassette holder
Filler module
Chemical dispense module
Aqueous based developer module
2000 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200 est un système de photorésistance utilisé pour la mise en oeuvre de matériaux photorésistes dans la fabrication de circuits intégrés et autres dispositifs semi-conducteurs. Il se compose de trois composants principaux : une source lumineuse, une lentille et un étage de substrat. La source lumineuse est un laser à ions argon qui produit une lumière ultraviolette cohérente (UV) dans la gamme de longueurs d'onde de 350-460 nm. La lentille focalise cette lumière sur le substrat, créant une image bidimensionnelle (2D) du motif désiré. L'étage de substrat maintient le substrat revêtu de photorésist tandis que le faisceau laser est balayé électroniquement pour former le motif. MICROTEC ACS200 offre une résolution et une répétabilité photorésistantes supérieures en raison de sa source laser haute énergie, haute puissance, longueur d'onde unique, qui réduit les déformations de motifs dues au chevauchement des expositions. La taille du motif est réglable de 1 μ m à 10mm et la taille du spot peut varier en 0,1 μ m pas. L'étage de substrat peut être incliné lors de l'exposition pour contrôler l'angle du faisceau incident, ce qui est important pour contrôler la taille du motif. KARL SUSS ACS-200 convient pour les types de matériaux photorésistants tels que les verres photorésistants, les microlentilles polymères et les résines à base d'époxy. Le système comprend également un refroidissement intégré pour réduire le chauffage du substrat pendant l'exposition et un réglage laser de type « pierre », qui minimise les aberrations et permet à l'utilisateur d'obtenir une résolution de sous-microns. En outre, KARL SUSS/MICROTEC ACS200 est convivial avec l'interface utilisateur graphique et l'utilisateur peut surveiller les paramètres d'exposition tels que la puissance, la vitesse et le temps d'exposition depuis la ligne de commande ou via l'interface graphique. La flexibilité de KARL SUSS/MICROTEC ACS-200 permet de réaliser de multiples applications, telles que l'exposition de photomasques bidimensionnels et de réseaux de trous de contact utilisés dans la gamme des sous-microns. Dans l'ensemble, ACS200 est un système de photorésistance facile à utiliser qui offre une résolution et une répétabilité supérieures dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il est robuste et fiable, et convient pour divers types de matériaux photorésistants.
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