Occasion KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9353323 à vendre en France

ID: 9353323
Style Vintage: 2001
Coater / Developer system, parts machine Missing parts: Robot Loadport Hot plate Chuck PC 2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200 est un revêtement photorésistant et un équipement de développement conçu pour la fabrication de dispositifs de niveau de plaquettes. Le système permet une gravure précise de caractéristiques complexes à la surface d'une plaquette ou d'une autre microstructure, permettant son utilisation dans la réalisation de dispositifs micro-électroniques et opto-électroniques avancés. L'unité est composée de trois parties principales, une station d'exposition, une station de revêtement et une station de rinçage. La machine est conçue pour une opération directe de revêtement, de cuisson et de développement utilisant une variété de solutions de développeur. La station d'exposition utilise la lumière ultraviolette (UV) afin de durcir uniformément la résine photosensible sur la surface de la plaquette. La lumière UV est focalisée à travers un réticule sur la plaquette, exposant la zone qui nécessite une gravure. L'exposition à la lumière est programmée et contrôlée via un ordinateur personnel et l'exposition peut être réglée à n'importe quel niveau souhaité. Le poste de revêtement est utilisé pour appliquer la résine photosensible sur la surface de la plaquette. Le matériau photorésist est contenu dans une cartouche qui est installée dans la machine au besoin. La résine photosensible est ensuite enrobée sur la surface de la plaquette dans un film pair selon une technique de spin-coating. La station de spin-rinçage est utilisée pour enlever tout matériau photorésist en excès de la surface de la plaquette. La plaquette est placée à l'intérieur de la station de rinçage où elle est immergée dans une solution chimique, telle qu'un développeur MICROTEC D 810 ou un développeur KARL SUSS D 820. Cette solution va ensuite se mélanger avec le matériau photorésist à la surface de la plaquette, ce qui provoque sa dissolution de tout excès de matériau. Une fois le processus de rinçage terminé, la plaquette peut être retirée et laissée à l'air sec. MICROTEC ACS200 est un outil polyvalent et fiable, capable de produire rapidement et avec précision des caractéristiques micronoscopiques complexes. Il est conçu pour fournir des performances fiables et cohérentes, avec une gamme complète de fonctionnalités permettant à l'utilisateur d'obtenir des rendements maximaux de leurs appareils. Cet actif est largement utilisé dans la production de dispositifs micro-électroniques et opto-électroniques et constitue un outil précieux dans le développement et la fabrication de technologies de pointe.
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