Occasion KARL SUSS / MICROTEC ACS 200 #9355505 à vendre en France
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ID: 9355505
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2013
Coater / Developer system, 8"
Resist pumps
(6) Chillers
(4) Load ports
(2) Coater cups
(2) Developer cups
HMDS Module
(6) Hotplates
(3) Coolplates
(2) SANKYO SC5000 Robot controllers
Power rack
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC ACS 200 est un équipement photorésistant de renommée mondiale conçu pour la recherche en lithographie, le développement et la production de dispositifs semi-conducteurs. Le système dispose d'un moteur pas à pas qui a une gamme de course de 4,0 mm avec une grande précision de 0,5 µm. L'unité est également équipée d'un outil de cisaillement 2-Axis qui réduit le temps de fabrication et le coût des dispositifs. La machine est conçue pour maximiser la productivité des processus au niveau des plaquettes et des masques. Il est également capable de supporter une variété de substrats d'épaisseurs et de tailles variées. MICROTEC ACS200 est conçu pour suivre de nombreux paramètres qui déterminent les paramètres du processus photo au niveau de la plaquette ou des masques. Il est équipé d'un mandrin de plaquettes avec piezo autofocus, qui assure la répétabilité des plaquettes. L'outil peut également supporter plusieurs sources d'exposition. Il utilise une source lumineuse LED ou Xenon pour l'exposition qui comprend également une stabilisation de l'intensité lumineuse et une bande d'exposition variable avec une taille d'image active allant jusqu'à 465mm ². En outre, il est équipé d'un obturateur automatique et d'un étage de masque qui assure un alignement précis du motif de disposition sur la surface du substrat ou du masque. KARL SUSS ACS-200 est également équipé d'un contrôleur logiciel intégré, intuitif et à haut débit qui permet un fonctionnement convivial. Le contrôleur est capable de faire fonctionner des expositions et des processus répétables en plusieurs étapes. Cela permet aux utilisateurs de bénéficier de ses contrôles flexibles et de ses capacités d'analyse de données. En outre, une interface programmable intégrée peut être utilisée pour personnaliser facilement l'actif pour des exigences de processus supplémentaires. Le modèle offre également un environnement de haute qualité pour garantir des performances optimales. Il est conçu pour réduire la relaxation et les vibrations pendant le fonctionnement afin d'assurer des résultats optimaux. L'équipement permet également de réduire l'érosion photorésistante afin d'augmenter la durée de vie du dispositif. KARL SUSS ACS 200 est un système de photorésistance avancé conçu pour fournir aux utilisateurs une capacité de lithographie transparente. Il est équipé d'une gamme de caractéristiques qui assurent l'alignement précis du schéma de mise en page sur le substrat ou la surface du masque, et fournissent des capacités d'analyse de données efficaces. En outre, son contrôle intuitif et son interface le rendent facile à utiliser et à personnaliser pour les besoins spécifiques de l'utilisateur. L'unité est également conçue pour fournir un environnement serré qui réduit les vibrations et l'érosion photorésistante afin de maximiser la durée de vie du dispositif et les rendements des produits.
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