Occasion KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9124419 à vendre en France

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPO est un équipement avancé de photolithographie/photorésist conçu pour le traitement précis et à haute résolution des substrats semi-conducteurs. Le système est conçu pour des fonctionnalités avancées telles que la superposition multiple et la précision d'alignement jusqu'à 0,3 microns, ainsi que la production à haut débit et la durée de vie prolongée du produit pour la fixation rentable des plaquettes semi-conductrices. L'unité dispose d'un étage intégré de plaque de haute stabilité capable de supporter des substrats de 5 « à 8 », avec une vitesse maximale de 3 cm/sec. L'étage est monté sur des rails renforcés à l'air et supporté par un ensemble de course léger pour assurer un mouvement de substrat précis et fiable. Un contrôleur micro-processeur multi-canaux surveille indépendamment l'étage et contrôle la position de la plaquette avec une précision de sous-micron. La machine est également équipée d'une optique d'éclairage variable et d'un outil de projection motorisé MicroStepper, fournissant une projection précise des motifs haute résolution sur les substrats. L'actif peut être configuré pour exposer des photorésistes positifs ou négatifs, et l'optique haute fidélité peut produire des motifs avec des rapports d'aspect et des résolutions élevés jusqu'à la gamme des sous-quarts de micron. En outre, MICROTEC Delta 20T2/150VPO dispose d'une capacité de focalisation automatique codée numériquement pour garantir les modèles de résolution les plus élevés, même avec des substrats plus épais. L'algorithme de focalisation automatique fournit également un conditionnement de focalisation très précis et répétable avec des tailles de pas inférieures à 0,1 micron. Cela réduit le temps d'exposition et conserve la puissance, augmentant le débit. Le modèle fournit une variété d'outils de photolithographie et de nettoyage, y compris des sources de lumière UV profondes et douces, ainsi qu'un équipement d'inspection des bords des plaquettes pour détecter et signaler les défauts. En outre, le système est équipé de serrures de charge pour le chargement et le déchargement rapides et sans obstruction du substrat. KARL SUSS DELTA 20T2/ 150VPO est une unité avancée qui utilise la technologie de photolithographie et de photorésist pour produire des motifs de haute qualité et de précision sur des substrats semi-conducteurs. Sa gamme impressionnante de caractéristiques et de capacités, ainsi que sa rentabilité, en font une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs et la recherche.