Occasion KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #107379 à vendre en France
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KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T est un équipement de photorésistance utilisé pour produire des structures submicroniques à haute résolution sur substrats. Ce système est équipé de capacités d'exposition multiples, permettant la production de motifs très complexes sur micropuces semi-conductrices. MICROTEC Delta 36T dispose d'une unité optique avancée pour améliorer l'uniformité de la lumière sur tout le substrat et la capacité de travailler avec une large gamme de matériaux photorésistants. KARL SUSS Delta 36T utilise une machine optique de projection avancée pour fournir une précision lithographique supérieure, permettant une production précise et à haut rendement. L'outil utilise une lentille Carl Zeiss f-Theta qui a une ouverture numérique de 0,75, ce qui fournit une haute résolution jusqu'à 0,2 µm. De plus, Delta 36T est conçu pour supporter jusqu'à quatre expositions en un seul cycle, permettant un rapport d'aspect élevé et une profondeur supérieure des contours de focalisation. KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T dispose également d'un logiciel puissant et intuitif qui permet un alignement facile du substrat et du motif sur le substrat. La fonctionnalité « Step & Repeat » du logiciel permet de générer plusieurs images cohérentes sur plusieurs substrats, et la fonctionnalité « Auto Align » effectue des ajustements fins pour améliorer la précision de la superposition. MICROTEC Delta 36T est également capable de générer des images binaires et gris. En termes de précision d'imagerie et d'uniformité, KARL SUSS Delta 36T excelle. Il est équipé d'un logiciel de mesure intelligente pour la précision de l'imagerie et dispose d'un codeur de haute résolution supplémentaire qui améliore la précision de conduite. Cet atout est également équipé de paramètres de processus contrôlés programmables pour la gestion de la recette de précision, et il dispose d'une interface tactile facile à utiliser pour plus de commodité et d'efficacité. En termes de sécurité, Delta 36T est équipé d'une multitude de boucliers à poussière et de boucliers à vide qui protègent l'optique contre la poussière ou les particules, qui affecteront tous deux la production de lithographie. Le modèle est également équipé d'un équipement sophistiqué de vision proximale qui détecte la présence d'objets dans le plan du substrat, assurant un haut niveau de sécurité des opérateurs. En conclusion, KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T photoresist system est une unité bien conçue et très efficace qui peut produire des motifs submicroniques haute résolution avec une précision lithographique impressionnante. Cette machine fournit un éclairage supérieur et une suite logicielle puissante mais intuitive pour assurer des résultats reproductibles et efficaces. De plus, MICROTEC Delta 36T offre d'importantes fonctionnalités de sécurité pour protéger l'optique et les opérateurs.
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