Occasion KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293585694 à vendre en France
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ID: 293585694
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 2009
Coater system, 4"
2009 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Delta 80 est un équipement de photorésistance conçu pour le traitement de photorésist simple à triple couche. Il utilise une plate-forme programmable, fiable et robuste qui prend en charge des résultats extrêmement précis et reproductibles. Il est principalement utilisé dans les industries microélectronique et nanoélectronique. MICROTEC Delta 80 dispose d'un système de commande riche en fonctionnalités qui est monté sur une chambre à vide en acier inoxydable. Il permet à un utilisateur de contrôler avec précision les paramètres d'exposition du photorésist tels que l'angle d'exposition, le temps d'exposition et l'intensité. Il supporte également une adaptation ultra-élevée des couches de résines entre différents substrats et étages. L'unité offre une finition de surface de haute qualité et des caractéristiques uniformes pour assurer la compatibilité avec le traitement photorésist. La chambre à vide utilise une technologie de revêtement PPT haute pression pour améliorer le nettoyage et l'adhérence du plasma qui élimine le précoating. KARL SUSS Delta 80 dispose d'un design modulaire qui permet une configuration flexible pour répondre aux besoins individuels. La machine peut être mise à niveau avec des modules supplémentaires, tels que la technologie de spin-coating et les modules de cuisson dur, permettant des personnalisations. L'outil supporte plusieurs matériaux, de la résistance au cuivre ; de couches simples à la technologie de gravure à couches multiples. Il a une précision répétable de 0,03 um avec une épaisseur de plaquette allant jusqu'à 300 um ; et une épaisseur de couche répétable de 0,001 nm avec une taille de plaquette pouvant atteindre 150 mm. Il peut également supporter plusieurs étapes de processus en une seule fois, telles que l'impression optique, les procédés de développement de revêtement et le traitement par plasma. Delta 80 offre un niveau d'uniformité sans précédent et un contrôle simple et facile à utiliser. Il a également l'un des profils d'application les plus étendus, offrant des choix optimaux dans le traitement de la résine photosensible avec la plus haute qualité et précision. Il assure un contrôle des processus reproductible et une précision supérieure pour des processus de haute qualité à faible coût.
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