Occasion KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #293828179 à vendre en France

ID: 293828179
Taille de la plaquette: 4"-6"
Automatic coater system, 4"-6" Robot type: GENMARK 4S0401013 (2) IO Ports (2) Hot plates Cool plate HMDS Module (3) Bellow pumps Spin coating station Developer station.
L'équipement de photorésistance KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60 interface avec n'importe quelle ligne de procédé semi-conducteur standard et permet la production de microstructures complexes avec précision et résolution au niveau micron. Le système est doté d'un design compact et modulaire et intègre les technologies de traitement des faisceaux d'électrons les plus avancées au monde. Ceci permet une qualité de motif inégalée et un contrôle critique des fonctionnalités, obtenant la plus grande uniformité et l'alignement de recouvrement le plus précis. MICROTEC Gamma 60 emploie un étage de grande surface, fournissant un champ d'exposition de grande surface, ce qui le rend idéal pour la production de grandes puces. De plus, la conception intégrée permet un fonctionnement à distance complet de l'unité et assure une sécurité maximale de l'opérateur. La machine offre une excellente résolution pour le découpage des puces et dispose d'un blanker de faisceau à grande vitesse pour un temps d'exposition réduit. En outre, il offre une précision de focalisation supérieure et une correction de profondeur sur le terrain, permettant la fabrication de plusieurs couches avec les profondeurs souhaitées. KARL SUSS Gamma 60 utilise un programmeur à contraste élevé pour assurer la résolution de la fonction la plus précise et le contrôle de la dimension critique (CD). Il dispose également d'un large éventail de paramètres de processus tels que la dose d'exposition et la focalisation qui peuvent être ajustés à distance, fournissant une optimisation facile et fiable du processus. L'outil dispose d'une interface utilisateur intuitive qui permet de guider facilement le faisceau d'électrons et de contrôler les paramètres du processus pour obtenir des résultats optimaux. Gamma 60 dispose également d'un atout optique avancé qui permet une inspection visuelle directe de la plaquette pour la détection des défauts en temps réel. KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60 génère des images incroyablement stables et reproductibles, ce qui le rend idéal pour des environnements de production répétitifs. En outre, le modèle est étayé par une documentation complète et un support technique, garantissant les performances et la fiabilité les plus élevées.
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