Occasion KARL SUSS / MICROTEC Gamma DSSP #9232865 à vendre en France
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Vendu
ID: 9232865
Style Vintage: 2013
Coater / Developer system
4M
Quantity / Part number / Description
(1) / V700041 / SUSS Gamma microlithography cluster 4M
(1) / 100005154 / SUSS Gamma frame extension 2S
(1) / 100005155 / SUSS Gamma adjustable air flow cover 4M
(1) / 100009611 / Safety interlock for all doors on the system
(1) / 100005513 / Auto carrier ID dialog
(1) / V700032 / Bar code reader for sequence selection
(1) / 100009610 / Single end effector robot (SR8230)
(1) / V711021 / Optical cassette scanner
(1) / 100001254 / Special stacked (4) I/O gamma
(1) / Q11986-08 / Carrier-LEDs for (2) carriers
(1) / 100010113 / Rotational pre-aligner
(1) / Q200286-01 / Special fork type vacuum end effector R4-R6 for robot with minimized heat transfer
(2) / V709001 / SUSS Topography coater alta sprays
(2) / - / Special substrate assembly R6 alta sprays BSR
(2) / V734510 / Resist spray dispense system up to 30cP with filter and reservoirs
(2) / V723000 / Resist bottle holders
(2) / V723010 / Resist bottle adapters
(2) / V734520 / Pre wet dispense nozzle alta sprays
(2) / V734540 / BSR Dispense option alta sprays, 50ml
(2) / V734545 / Additional chuck vacuum lines
(2) / V745120 / Filter unit solvents
(1) / V736101 / Aqueous process module
(1) / V736111 / Programmable dispense arm AQ
(1) / V736135 / Substrate assembly R4-R6 AQ
(1) / V736300 / Puddle dispense system AQ
(1) / V736320 / Fan spray dispense system AQ
(1) / Q736320 / Fan spray dispense system AQ for 3rd line
(1) / V736340 / Topside rinse dispense AQ
(6) / V736390 / Flow detection sensors AQ
(1) / V745100 / Filter unit DI-water
(1) / V745110 / Filter unit AQ developer
(1) / V738030 / Nitrogen drying option
(1) / V740010 / Hot / Cool plate / Vacuum prime stack module
(2) / V744110 / Hot plate cassette 250° C proximities
(2) / V744230 / Cool plate cassette proximities
(1) / V744300 / Vacuum primer
(1) / 100000699 / Substrate assembly vacuum primer R2-R8
(1) / V744340 / Pressure tank system (5L Stainless steel / HMDS) / Bubbler
(1) / V744350 / Safety package HMDS
(1) / V826020 / JULABO FL601 TCU (50 Hz)
(3) / V760011 / Media storage stainless steels
(1) / V760120 / Pressure tank system (10L stainless steel bulk fill)
(2) / 100005184 / Pressure tank systems (5L PE bulk fill) KALREZ
(1) / V760240 / Waste canister (20L stainless steel) quick
(1) / V772005 / Additional gas monitor
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma DSSP est un équipement photorésist de haute précision qui est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de micropuces. Le système utilise une source de lumière UV de haute puissance combinée à une optique sophistiquée qui permet la production de motifs précis sur une gamme de matériaux photorésistants. Au cœur de l'unité se trouve la source de lumière gamma qui est basée autour d'une lampe à arc Xénon de 1200 watts. Cela permet à la machine de générer une colonne hautement focalisée de lumière UV qui est réglable en puissance et en temps d'exposition. Le faisceau lumineux est mis en forme et collimaté par un ensemble de lentilles et de miroirs puis dirigé vers le substrat. Au cœur de l'outil se trouve le positionneur CCD qui permet un alignement précis et répétable du substrat par rapport à la source lumineuse. Cela garantit que la quantité exacte de lumière est livrée exactement à la bonne position sur la surface. Le positionneur CCD est également capable de détecter la présence du substrat et d'effectuer les réglages nécessaires pour bien focaliser la lumière. Outre la source lumineuse de haute puissance et l'optique, l'actif comprend également un ensemble d'électronique de contrôle de précision. Cela permet d'affiner la source lumineuse et l'optique pour assurer la meilleure exposition possible de la résine photosensible. Le contrôle précis de l'exposition à la lumière permet de transférer avec précision les détails des minutes sur la résine photosensible. Le modèle photorésist MICROTEC Gamma DSSP est capable de produire des motifs très précis sur des photorésistes à couche simple et double. Il est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la production d'une grande variété de circuits intégrés et de micropuces. Avec sa combinaison d'optique sophistiquée, d'électronique de commande précise et d'une source lumineuse de haute puissance, KARL SUSS Gamma DSSP est en mesure de produire des motifs avec un très haut niveau de détail et de précision.
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