Occasion KARL SUSS / MICROTEC Gamma DSSP #9232866 à vendre en France
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Vendu
ID: 9232866
Style Vintage: 2013
Coater / Developer system
4M
Quantity / Part number / Description
(1) / V700041 / SUSS Gamma microlithography cluster 4M
(1) / 100005154 / SUSS Gamma frame extension 2S
(1) / 100005155 / SUSS Gamma adjustable air flow cover 4M
(1) / 100009611 / Safety interlock for all doors on the system
(1) / 100005513 / Auto carrier ID dialog
(1) / V700032 / Bar code reader for sequence selection
(1) / 100009610 / Single end effector robot (SR8230)
(1) / V711021 / Optical cassette scanner
(1) / 100001254 / Special stacked (4) I/O gamma
(1) / Q11986-08 / Carrier-LEDs for (2) carriers
(1) / 100010113 / Rotational pre-aligner
(1) / Q200286-01 / Special fork type vacuum end effector R4-R6 for robot with minimized heat transfer
(2) / V709001 / SUSS Topography coater alta sprays
(2) / 100006861 / Special substrate assembly R4 alta sprays BSR
(2) / - / Special substrate assembly R6 alta sprays BSR
(2) / V734510 / Resist spray dispense system up to 30cP with filter and reservoirs
(2) / V723000 / Resist bottle holders
(2) / V723010 / Resist bottle adapters
(2) / V734520 / Pre wet dispense nozzle alta sprays
(2) / V734540 / BSR Dispense option alta sprays, 50ml
(2) / V734545 / Additional chuck vacuum lines
(2) / V745120 / Filter unit solvents
(1) / V736101 / Aqueous process module
(1) / V736111 / Programmable dispense arm AQ
(1) / V736135 / Substrate assembly R4-R6 AQ
(1) / V736300 / Puddle dispense system AQ
(1) / V736320 / Fan spray dispense system AQ
(1) / Q736320 / Fan spray dispense system AQ for 3rd line
(1) / V736340 / Topside rinse dispense AQ
(6) / V736390 / Flow detection sensors AQ
(1) / V745100 / Filter unit DI-water
(1) / V745110 / Filter unit AQ developer
(1) / V738030 / Nitrogen drying option
(1) / V740010 / Hot / Cool plate / Vacuum prime stack module
(2) / V744110 / Hot plate cassette 250° C proximities
(2) / V744230 / Cool plate cassette proximities
(1) / V744300 / Vacuum primer
(1) / 100000699 / Substrate assembly vacuum primer R2-R8
(1) / V744340 / Pressure tank system (5L Stainless steel / HMDS) / Bubbler
(1) / V744350 / Safety package HMDS
(1) / V826020 / JULABO FL601 TCU, 50 Hz
(3) / V760011 / Media storage stainless steels
(1) / V760120 / Pressure tank system (10L stainless steel bulk fill)
(2) / 100005184 / Pressure tank systems (5L PE bulk fill) KALREZ
(1) / V760240 / Waste canister (20L Stainless steel) quick
(1) / V772005 / Additional gas monitor
2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma DSSP est un équipement de photorésistance conçu pour la microfabrication. Elle combine des techniques optiques et électriques pour assurer le dépôt précis d'une couche de résine sur les surfaces du substrat. Le système est composé d'une chambre de dépôt sous vide, d'un manipulateur à vide, d'une seringue et d'un masque de motif. La chambre de dépôt abrite une plate-forme pneumatique de haute précision qui peut se déplacer en trois dimensions. Cette plate-forme permet un placement répétable de plaquettes à proximité du masque. Le matériau de dépôt, typiquement une formulation de photorésist avancée telle qu'un polymère de photorésist, est pompé à travers une seringue. L'outil de seringue peut être adapté pour un contrôle précis du débit, de la posologie et du dosage du matériau photorésistant. L'actif comporte également un masque de motif, typiquement en quartz ou en métal, qui est fixé à la chambre de dépôt. Le masque est utilisé pour limiter l'exposition du matériau photorésistant déposé à certaines zones. Le motif du masque est réalisé par lithographie. Le modèle d'exposition laser intégré fournit ensuite de la lumière ultraviolette pour améliorer l'activation des zones exposées. Une gamme de réglages de tension est disponible pour l'équipement, permettant la personnalisation des temps de dépôt et le contrôle précis de la qualité de la couche de résistance. La couche de résistance est « cuite » à une température sélectionnable par l'utilisateur pour créer des liaisons physiques, chimiques ou électriques entre les couches. Le système dispose également de la commande pneumatique de la chambre à vide pour la précision ultime et la répétabilité de l'ensemble du processus. MICROTEC Gamma DSSP est une unité de photorésistance avancée capable de déposer des couches complexes extrêmement minces et uniformes sur des surfaces de substrat. Il combine des systèmes de seringues de haute précision et sur mesure avec des techniques de balisage sophistiquées de la lithographie pour garantir des résultats précis et reproductibles. C'est une machine polyvalente qui offre aux utilisateurs un contrôle complet du processus de dépôt pour une large gamme d'applications de microfabrication.
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